積層電気化学センサは、誘電体基板と、基板の表面上に形成された導電層とを含む。導電層は、作用電極と電極リードと接続アームとを含み、接続アームは作用電極を電極リードへ接続する。導電層の上に、誘電体層が配置される。誘電体層は、作用電極及び接続アームの一部を露出する開口を有する。作用電極と電極リードと接続アームとはレーザーアブレーション技術により形成されて精密な作用電極センサパラメータを提供することができる。
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