【課題】基板のサイズに応じて載置搬送することが可能な基板搬送装置及び基板搬送装置に用いられる転動ユニットを提供する。
【解決手段】従動筒６１４が突起６１３のガイド溝６１９内の滑り移動と共に回転軸６１２に相対して基板３側に向かって滑り移動されると、第１のローラー６１５が基板３に向かって前進する。第１のローラー６１５の前進運動により第１のローラー６１５は基板３と接触して基板３が載置される。そして、従動筒６１４が突起６１３のガイド溝６１９内の滑り移動と共に回転軸６１２に相対して基板３が離脱するように滑り移動されると、第１のローラー６１５が基板３から遠ざかるように後退する。第１のローラー６１５の後退運動により第１のローラー６１５は基板３から離脱して遠ざかる。 （もっと読む）