【課題】 集積化が可能な超小型のラッチ型熱駆動マイクローリレー素子を提供する。
【解決手段】 所定の体積を持ち、その内部の空気を加熱するヒータ１２が設置されている能動貯蔵庫１０と、能動貯蔵庫１０と所定の間隔に離隔されてその内部にヒータ４２が設置されている、同一な体積を持つ受動貯蔵庫４０と、能動貯蔵庫１０と受動貯蔵庫４０の間の空間に延長されて液体金属５０の移動路としての役割を果すチャンネル２０と、互いに離隔されてチャンネル２０の所定の領域で各々チャンネルの内部に一端が挿入され外部に伸びる第１信号電極３０と、第１信号電極３０と一定の間隔に離隔されて同一な形状で形成された第２信号電極３２と、チャンネルの内部に実装されて第１信号電極３０と第２信号電極３２の接点としての役割を果す液体金属５０と、半導体基板１００の上、下側面に接合された上、下部ガラス基板１２０，１３０を含む。 （もっと読む）