【課題】膜懸垂プローブを針型プローブヘッドのプローブアセンブリの部品として使用できるようにする。
【解決手段】第一表面及びその反対側に第二表面を有し、該第一及び該第二表面のいずれか一方が歪んだ場合に、復元力を作用させることができる弾性膜１７０と、第一端部及び第二端部を有するビーム１６４、該ビーム１６４の該第一端部近傍にある検査対象のデバイスと接触するプローブ先端部１６８、並びに、該ビーム１６４の該第二端部の近傍にあり、該弾性膜１７０の該第一表面から露出しているビーム接触部を具える膜懸垂プローブ１０４とを具え、該ビーム１６４は該弾性膜１７０の該第二表面を変形させるために移動することができることを特徴とするプローブヘッドとする。 （もっと読む）

アダプタは、プローブステーションのチャックと機器とを導電的に相互接続する。本アダプタは、チャックに導電的に接続した信号導体であって、機器の接地電位、バヨネットコネクタ出力、信号コネクタのそれぞれに選択的に接続可能な信号導体を備える。ガード電位の導体は、チャックに導電的に接続され、機器の接地電位およびガード接続の一方に選択的に接続可能である。シールド導体は接地電位に接続される。 （もっと読む）

【課題】小型のデバイスのフリッカ雑音の特性を明らかにするために、測定システムの構成素子の周波数応答特性を良好にしたり、このシステムに悪影響を及ぼすおそれのある電気雑音を排除又は制御したり、試験状態にあるデバイスに対する直流測定を正確にしたフリッカ雑音試験システムを提供する。
【解決手段】被試験装置の各端子にそれぞれ選択的に接続しうる保護された信号経路及び保護されていない信号経路を有している。選択された信号経路は、ケーブルの接続を分断したりプローブを切り換えたりすることをせずに、端子に接続しうるようにする。 （もっと読む）

【課題】改善された撮像方法及びシステムを提供する。
【解決手段】ディジタルズームの範囲を拡張するシステム及び方法が提供され、ここでは撮像システムが複数の分離した光路及び複数のディジタルズーム撮像装置上で連続的な倍率を提供する。視野が変化すると共に画像の中心を合わせ、そして不所望な障害物を拡大画像からマスクで除去するシステム及び方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】 プローブをウエハに加えた時、ウエハを支持する上部チャック組立体素子が平面性を失わないチャックを提供する。
【解決手段】 このチャックはウエハを支持するようにした上面１９８を有する上部チャック組立体素子１８０を具え、更に、上部チャック組立体素子と、その下の中央チャック組立体素子１８２との間に、間隔を画成する３個の独立したピン２００、２０２、２０４を有し、上部チャック組立体素子１８０に連結されたチャック離間装置とを具える。このチャック離間装置は中央チャック組立体素子の上面２２４に押圧掛合する第１面と、導電Ｕ字状部材２４４の第１面に押圧掛合する第２面とを有する絶縁Ｕ字状部材２４６を有する。導電Ｕ字状部材２４４の第２面は上部チャック組立体素子の下面に押圧掛合する。絶縁Ｕ字状部材の第１面の厚さは導電Ｕ字状部材の厚さの１／３より薄い。 （もっと読む）

【課題】集積回路または他のマイクロエレクトロニクス素子の高周波試験を行うための、構成が容易な多接点型プローブの組み立て方法を提案する。
【解決手段】本発明によるプローブ組み立て方法は、
(a)支持部１４を設ける工程と、
(b)多数の接触フィンガー１６を、前記支持部１４に支持しない状態では支持タブ２６によって所定の配列に維持し、前記多数の接触フィンガー１６と前記支持部１４との一体的な組立体を設ける工程と、
(c)前記多数の接触フィンガー１６を前記支持部１４に取り付ける工程と、
(d)前記支持タブ２６を除去する工程と
を含む。 （もっと読む）

差動利得セルを含むテスト構造及び差動信号プローブは、前記テスト構造の入力インピーダンスの周波数依存性の変動を低減する、ミラー効果に対する補償を含む。
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広帯域差動信号プローブは、差動信号の低周波数成分および高周波数成分を低周波数および高周波数のシングルエンド信号にそれぞれ変換するための別個の経路を含み、変換された低周波数および高周波数のシングルエンド信号を合成してプローブ出力を得る。
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【課題】近隣のデバイスとのクロストークを低減させるべくプローブ先端部付近での漂遊電磁場を低減させ、かつ充分な電流を流すことができる、高周波でのプロービングを可能にするブローブを提供する。
【解決手段】高周波プローブは、同軸ケーブルの端部周縁内に位置付けられ、かつ同軸ケーブルの接地導体によりシールドされる接点端部を有する。 （もっと読む）