【課題】
物理的に質の異なる流体を含む輸送流体を流体輸送路に複数の筒状ノズルを設けるだけで均質化して混合することができる流体混合器および流体混合輸送路あるいは流体混合方法を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、流体輸送管の内部に複数の筒状ノズルを配置して複数の筒状ノズルの前後の筒状ノズルにより相互にサイクロン流を逆方向に旋回させることで、物理的に質の異なる流体を混合して輸送流体を均質化して輸送する。 （もっと読む）

【課題】
切粉の目詰まりによる研磨ベルトの研削効率低下を抑制し、従来に比べて研磨ベルトの寿命を飛躍的に伸ばすことが可能な被清掃物品の表面クリーニング機構を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、扁平ノズルが流体の噴射に応じて被清掃物品の表面に対して清掃幅方向に首振り移動をする。特に、被清掃物品が研磨ベルトであるときには、噴射する扁平ノズルの噴射軸を延長した線が研磨ベルトの表面に当たる位置に立てた法線に対しローラに係合した研磨ベルトをローラ側の平面からみて所定の角度にされて扁平ノズルが流体の噴射に応じて研磨ベルトの幅方向に首振り移動をする。そして、扁平ノズルの両側にはストッパが設けられている。 （もっと読む）

【課題】
層流輸送される流体自体を管輸送の状態で簡単にサイクロン流に変換して輸送することができ、輸送管路の軸方向に短い空間周期のサイクロン流を生成することが可能なサイクロン流生成ガスケットあるいはサイクロン生成継手を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、ガスケットあるいは継手管が装着された流体輸送路において、ガスケットあるいは継手管の筒状ノズルが挿入された流体輸送路の管では筒状ノズルの側面吹出口から流体をこれの外側に吹出して筒状ノズルが挿入された管の内壁面に斜めから当ててサイクロン流を生成しあるいは筒状ノズルの内側に流体を吹出して筒状ノズルの円形内壁面に斜めから当ててサイクロン流を生成する。 （もっと読む）

【課題】送出原料ガスに混ざるミストの供給を抑え、パーティクルが発生し難い液体原料気化用の気化器ユニットおよびこれを含むガス輸送路そして半導体処理システムを提供する。
【解決手段】気化器１を原料ガス輸送配管の一部とし、これに接続された加熱装置とともに配管型の気化器ユニット１０を構成する。気化室４は、外側に加熱部材２１ｂを有する配管２１ａの入口側端部に霧化部５を配設することで形成し、気化室４の出口にサイクロン流生成部材３２を配設してサイクロン流を生成することで加熱効率を向上させ残留ミストの発生を防止する。これにより気化器ユニット１０を小型化して反応炉周辺での占有面積を低減し、反応炉から１ｍ以下の近傍において気化器ユニット１０を配置可能とする。 （もっと読む）

【課題】
ゴミ、不純物等がバルブ弁に滞留し難く、これの分解清掃をするメンテナンス期間の延長を図ることができるバルブ又は原料ガスの再凝縮によるバルブでのフレークあるいはパーティクルの発生を抑止することができるバルブおよびこれを用いた半導体製造装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、バルブの入力ポートに供給される流体をサイクロン流に変えるサイクロン流生成部材を入力ポートに設けられあるいは入力ポートと弁部材との間に設けることで、開閉動作をする弁部材にサイクロン流を供給する。凹凸部分が多い弁部分が開閉されるバルブでのゴミ、不純物等の付着をサイクロン流により防止し、かつ、サイクロン流でバルブの内部の清掃を行うことができ、さらにはサイクロン流により弁部材によるバルブ開閉時の動的圧力変化を低減できる。 （もっと読む）

【課題】
目詰まりがし難く、ガス供給系、ガス排気系におけるフィルタ部分の分解清掃あるいは交換をするメンテナンス期間の延長を図ることができる筒形フィルタを有する流体輸送管，これを用いた流体輸送路および半導体製造装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、筒形フィルタと管端部とが接続される部分に流体輸送管を流れる流体を通過させない領域を設けるものであって、筒形フィルタの底部側面と流体輸送管の内壁面との間にミスト、フレーク、パーティクル、その他のゴミ、不純物等をトラップするトラップ領域を流体を通過させない領域として形成して、筒形フィルタが輸送流体のサイクロン流を受けるものである。 （もっと読む）

【課題】
樹脂切粉の目詰まりによる研磨ベルトの研削効率低下を抑制し、研磨ベルトの寿命（ライフタイム）を飛躍的に伸ばすことが可能な樹脂成型品のベルト研磨装置およびベルト研磨方法を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、８０リットル／分〜２５０リットル／分の範囲の圧縮空気を間欠的に研磨ベルトの表面に吹付け、圧縮空気が停止状態から噴射吹付け状態に切り替わることによりこのとき研磨ベルトに衝撃波が加わりかつ圧縮空気の噴射圧力にピークが生じる。このことで瞬間吹付け流量が増加して細い孔からのエアーにより研磨ベルトの小さいエリアが急冷却されて研磨後にヤスリ目に被着あるいは融着された切粉樹脂が剥れ易くなる。これにより、樹脂切粉がヤスリ目から剥れ落ちる。 （もっと読む）

【課題】
ベルトすべりを低減して効率的な研磨ができる、長尺のエンドレスベルトに適したベルト研磨装置およびベルト研磨方法を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、後案内ローラの回転軸を一対の前案内ローラの回転軸に対して横設してかつ前案内ローラの所定の間隔に対してこれと等しいか、これより小さい間隔分離して後案内ローラを配置して前案内ローラから研磨ベルトを捩って後案内ローラに係合させ、後案内ローラから研磨ベルトの捩りを戻して駆動ローラに案内して研磨ベルトを各ローラに掛架する。 （もっと読む）

【課題】
水、水蒸気、キャリアガス、反応ガス等の原料ガスを効率よくクリーンな状態で前加熱することができかつ小型化が可能な流体加熱装置と半導体処理装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、高温に加熱された流体を送出する真空断熱の第２の石英ガラス管が発熱体の加熱領域の外側まで延びて第１のガラス管に結合されている。この第２のガラス管は、第１のガラス管からの熱を遮断するバッファ管となり、第２のガラス管の材質がガラスであるので、熱は伝わり難く、その送出側の温度を低く抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】
気化ガスに混ざるミストの供給を抑えしかつ気化効率が高く、パーティクルが発生し難い気化器ユニットおよび半導体処理システムを提供することにある。
【解決手段】
この発明は、気化器にクランク状の通路を持つ加熱されたガス輸送管を接続することで、未気化ミストを管路曲折部において曲折先の管路の内壁面に当ててかつ接線接続（サイクロン流結合）により輸送ガスをサイクロン化して気化させ、管路をクランク状にすることでトラップ構造を持つ輸送管として輸送管にフィルタ機能と補助気化機能を持たせるものである。 （もっと読む）