【目的】 基板の焦点合わせを良好に行うことができると共に、物体テーブルが正確に直線案内に沿って案内されるような支持装置を提供する。
【構成】 支持装置（１）は基面（５）と、基面に平行に延びる直線案内（１３）に沿って支持装置を案内するための第１と第２の支承ユニット（２、１１）を含む。また剛性化部材（２３）に連結された物体テーブルをもち、物体テーブル（１９）は基面を横切るｚ方向に２つの支承ユニットに対して変位でき、かつ３つの力アクチュエータ（３７）によって基面に平行に向いた少なくとも１つの回転軸線の回りに傾斜できる。剛性化部材は連結部材（３５）によって第２支承ユニットに連結され、連結部材はｚ方向に弾性変形でき、かつ力アクチュエータによって第１支承ユニットに連結される。かくて剛性化部材及び物体テーブルと２つの支承ユニットとの静的に決定される連結が得られる。 （もっと読む）