【課題】被検出用流体の滞留する部分が全くなく、検出素子に被検出用流体を接触させることなく、また配管ラインの圧力を計測する場合でも、配管の切断を不要にした圧力測定装置を提供する。
【解決手段】被検出用流体を流動させるチューブ１３をハウジング１０の保持用凹部１２の内側に配するようにし、この保持凹部１２の軸線方向の一端をシール部材１６によって閉塞し、他端側に上記チューブ１３の外径よりもやや小さな値のスロート部２１を形成する。そして供給ポート２７を通して保持凹部１２に対して供給圧を印加し、この保持凹部１２内の圧力を出力ポート２９を通して取出すようにする。チューブ１３内の流体の圧力が増大すると、スロート部２１を通して逃げるガスの量が減少し、出力圧が増大する。これに対してチューブ１３内の圧力が減少すると、スロート部２１を通して逃げるガスの量が増加し、出力圧が減少する。 （もっと読む）

【課題】制御弁によって圧力が制御される負荷に漏れが生じた場合に、警報装置を作動させてそのことを知らせるようにした圧力制御装置において、上記の負荷の漏れを検出するための圧力センサを必要とせず、制御弁の制御環境を変化させないで漏れの検出を行なうようにした圧力制御装置を提供する。
【解決手段】制御弁１０によってその出力側に接続された加圧用バッグ１４等の負荷の圧力を一定に制御するために、上記制御弁１０に制御コントローラ１１を接続し、このコントローラ１１からの信号Ｓ_ｉｎを上記制御弁１０に印加するとともに、上記制御弁１０に印加するＳ_ｉｎの増加量ΔＳ_ｉｎが所定の値よりも大きくなった場合に、負荷１４に漏れが発生したものと判断するものであって、この判断は、制御コントローラ１１のＣＰＵ３２による判断動作として行なわれる。 （もっと読む）

【課題】圧力調整弁の出力圧に応じて、この圧力調整弁を開閉制御して所定の出力圧を取出すようにした制御装置において、とくに開弁動作と閉弁動作の差異による応答性の相違に応じて、制御要素が最適な比例定数あるいはパラメータを設定できるようにする。
【解決手段】制御要素を構成する比例要素１５、積分要素１６、および微分要素１７がそれぞれ開弁動作および閉弁動作に応じた適正な制御をできるように、正側のパラメータと負側のパラメータとを備えており、目標値と圧力センサ１２の出力とを比較するコンパレータ１３の出力の極性を極性判別器２１によって判別し、これに応じてスイッチ１８、１９、２０を切換えて適正なパラメータの選択を行なう。 （もっと読む）

【課題】ブースタに対して入力圧を設定するトランスデューサのムービングコイルに外部からの衝撃が加わっても、上記のコイルが変位を起こすことなく、これによって高速・高精度の制御を可能にしたフォースモータ式変位装置を提供する。
【解決手段】ブースタ１０に対して入力圧Ｐ_ｉｎを設定するトランスデューサ１１のコイルに検出回路１３と位相反転回路１４と増幅器１５とを接続し、増幅器１５の出力を、指令信号が入力される加算器１２の他方の入力端子に供給する。 （もっと読む）

【課題】
弁体に対して弁座に圧着するためのばね力、自重、ゴムの弾性力等のバイアス力を付与することなく、これによって正方向のガスの流動時における開弁圧、すなわちクラッキング圧力を実質的に零にしたチェックバルブを提供する。
【解決手段】
入口側ボディ１１と出口側ボディ１２とによってハウジングを構成し、入口側ボディ１１の壁面２４と出口側ボディ１２の当接壁面３４との間の軸線方向に微小なギャップの空間に円形のシート状の弁体１３を配し、逆方向の流れが生じた場合に、上記弁体１３と壁面２４との間を流れるガスの流動によって、壁面付着現象を利用して弁体１３を壁面２４に圧着し、これによって壁面２４に開口している吐出口２３を閉塞し、逆方向のガスの流動を遮断する。
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【課題】
空気圧等の流体圧の入力圧に応じてそれに応じた超微細ストロークを発生するアクチュエータを提供する。
【解決手段】
複数の切込み２１〜２４を備えるボディ１０に対して交差するように中心部に挿通孔１２を形成するとともに、ボディ１０の端部に凹部１３を形成し、凹部１３内に収納保持される圧力板１６に連設されるロッド１７を上記挿通孔１２内に配し、ダイヤフラム１９を介して上記圧力板１６に入力圧力を印加したときに、切込み２１〜２４の根元側の連結部の弾性変形によって出力点Ｐがストロークを生ずるようにする。 （もっと読む）