ヌーケン・ゲーエムベーハーにより出願された特許
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半導体部品、その製造方法およびそのために用いられる装置
【目的】 高効率の半導体部品を低コストで、同時に長期間にわたる半導体部品自体の安定性を保証しながら製造する。
【構成】 本発明は、半導体層(21、22)と担体基板(18)との間に配置された種結晶層(20)を有する薄膜太陽電池のような半導体部品に関する。種結晶層(20)に面する担体基板(18)の表面はシールされているか、またはシーリング層(19)が担体基板(18)上に堆積されている。
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