【課題】軽量化が達成され、経年変化に対して耐性があり、荷重を分散して局部的に負荷がかかることを回避し、さらに廉価に製造することができる反射鏡アンテナ支持構造体を提供する。
【解決手段】アンテナ本体１２と支持体３０とをボルト５２とナット板５４によって一体化する。支持体３０は、第１のリング体３２と、第２のリング体３４と、前記第１のリング体３２と第２のリング体３４を所定間隔離間して保持する支持ロッド３６ａ〜３６ｐと、前記第１のリング体３２と第２のリング体３４との間で一体的に構成される実質的に四角形状からなる補強枠４０ａ〜４０ｄと、前記第２のリング体３４と前記補強枠４０ａ〜４０ｄの間に橋架される補強片４４ａ、４４ｂと、基板６４ａ、６４ｂとから構成される。 （もっと読む）

【課題】 アライメント顕微鏡を光軸方向に移動させることなく、焦点深度範囲外にある２つのアライメントマークを検出しマスクとワークの位置合せをすること。
【解決手段】マスクＭのアライメントマークを検出する際、ワークステージ３が図面右方向に動き、ワークステージ３の側面に取り付けられた平行平板５が、アライメント顕微鏡４の光路内に挿入され、マスクＭのアライメントマークの位置が検出され記憶される。ワークＷのアライメントマークを検出する際は、ワークステージ３が図示の位置に移動する。アライメント顕微鏡４がワークステージ３の内部に挿入され、アライメント顕微鏡４により貫通孔３ｂを介してワークマークＷＡＭを検出する。２つのアライメントマークが検出されると、それらが所定の位置関係になるようにワークステージ３を移動し、光照射部１から露光光を照射し、ワークＷにマスクパターンを露光する。 （もっと読む）

【課題】 プローブ、ピンセットあるいはシリンジなどの各種のマニプレータを簡単な操作で且つ高い自由度で位置決めすることのできる簡単な構成の三次元位置決め装置を提供すること。
【解決手段】 基台、この基台に第一の軸により支持され、第一の軸と共にあるいは第一の軸を中心にして独立に回転する第一の回転支持部、第一の回転支持部に、第一の軸に垂直な第二の軸により支持され、第二の軸と共にあるいは第二の軸を中心にして独立に回転する第二の回転支持部、そして第二の回転支持部に、第二の軸に垂直な第三の軸により支持され、第三の軸と共にあるいは第三の軸を中心にして独立に回転する、マニプレータ支持用の第三の回転支持部を含むマニプレータ三次元位置決め装置。 （もっと読む）