【課題】安定したコンタクトが可能で、しかも硬度が高く高寿命のプローブ針の製造方法を提供する。
【解決手段】プローブ針の製造方法において、支持体１４上に、形成すべきプローブ針１０の形状の凹部１５を有するレジストパターン１６を形成するフォトリソグラフィー工程と、カーボンナノチューブ１７とカーボンナノチューブ１７を分散させる分散剤が混入されたスルファミン酸ニッケルめっき液を用いて電解めっきを行い、レジストパターン１６の凹部１５内に、カーボンナノチューブ１７が混入されたニッケルめっき体１８を形成する電鋳工程と、レジストパターン１６を除去する工程と、支持体１４上からニッケルめっき体１８を剥離する工程と、得られたニッケルめっき体１８の少なくとも先端部のニッケルをエッチングしてカーボンナノチューブ１７を露出させるエッチング工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プランジャから直接配線に導通して、高周波及び高電流での検査に対応可能とすると共に、プローブの交換を容易に行え得る検査ユニットを提供する。
【解決手段】配線支持ボード２３に、配線１１の線本体１１ｂをレーザ溶射等により一体成形したボール状端子１１ｃを所定量移動自在かつ弾性部材４１により付勢して収納する。ピンボード２２を貫通しかつスプリング２６により付勢されてプランジャ２５が所定量移動自在に支持される。プランジャ２５の後端部に、弾性部材４１により付勢されたボール状端子１１ｃが接触する。 （もっと読む）

【課題】プローブのプランジャを案内するガイド孔は、面倒な孔加工を必要とするため、端子又は電極の狭ピッチ化及び多極化に対応するのが困難となっている。
【解決方法】上ブロック１０及び下ブロック１１に形成された円筒状の保持孔１２，１５にプローブ２が装着される。プローブのプランジャ６は、板状のガイド部１９ａと、その先端の接触部１９ｂとを有している。上ブロック１０には下方から有底の保持孔１２が形成されると共に、上面ｓからガイド溝１３が形成される。該ガイド溝１３に、上記ガイド部１９ａが回り止めされ、かつ抜止めされて上下移動自在に案内される。 （もっと読む）

【課題】 配線接続部の耐久性を向上し、安定した電気的接続により確実かつ正確な測定が可能となる検査ユニットを提供する。
【解決手段】 検査用プローブ１をワーク１６に向かって移動させると、探針部２先端がワーク１６に接触すると略々同時にピン先ガイドボード１２もワーク１６に接触し、更にピンボード１３を移動させて、螺旋バネ３を圧縮しつつ探針部２のワーク１６の接触を確実にする状態にあっても、ピン先ガイドボード１２は、ワーク１６に接触した状態に保持されて螺旋バネ２０を変形しつつピンボード１３との相対移動を吸収し、よってピン先ガイドボード１２と連結部材２１を介して一体の配線支持ボード１５も、ピンボード１３の上記した移動に拘らず、探針部２がワーク１６に当接した状態に保持されて、探針部２と配線支持ボード１５との相対移動はない。 （もっと読む）