【課題】周波数および位相を正確に制御する高周波発生器を提供する。
【解決手段】周波数および位相を正確に制御する高周波発生器１４ａ，１４ｂは、電力源２２２ａ，２２２ｂと、センサ２２４ａ，２２４ｂと、センサ信号処理ユニット２２６ａ，２２６ｂとを含む。センサ信号処理ユニット２２６ａ，２２６ｂは、電力源２２２ａ，２２２ｂおよびセンサ２２４ａ，２２４ｂに接続され、高周波発生器１４ａ，１４ｂの位相および／または周波数を制御する。 （もっと読む）