【課題】ＣＶＤ装置などの膜付装置において、その配管系部品の組込み・交換作業を行うにあたり、クリーンルーム内での使用が可能で、作業員の労働負荷を極力軽減できるような補助作業用のバランサ装置を提供すること。
【解決手段】軸受け台９に支承され、垂直方向に作動するピストンロッド５とシリンダ４とからなるバランサを内蔵したユニバーサルアーム２を有し、前記ピストンロッド５の先端部に部品支え部材６を設けた配管系部品交換作業の補助作業用バランサ装置であって、該バランサ装置のピストンロッド５の先端部に設けられた部品支え部材６にて交換部品を支えながら該交換部品１２と配管系との接続を解除して該交換部品１２を取り外した後、その取り外した位置に新たな交換部品を該バランサ装置の部品支え部材６にて支えながら装着することができる。 （もっと読む）