【課題】薄膜フィルムに形成されたバンプや電極部の位置精度を高く保持することが可能なバンプ付薄膜シートの製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜フィルム10に対し、先端部がこの薄膜フィルム10の一面から突出すると共に、後端部がこの薄膜フィルム10を貫通して他面側に導出された複数のバンプ38と、このバンプ38の後端部に接続された複数の電極部43を形成する工程と、この薄膜フィルム10を加湿し、膨潤化させる工程と、この薄膜フィルム10を、複数の目印パターン50が表示されたガラス基板46上に載置する工程と、この薄膜フィルム10の任意の箇所の拡大映像を参照し、薄膜フィルム10を必要方向に必要量引き伸ばし、電極部43と目印パターン50との位置合わせを行う工程と、薄膜フィルム10の表面にセラミックリング56を接合する工程と、薄膜フィルム10を乾燥させる工程を備えたバンプ付薄膜シート62の製造方法。 （もっと読む）

【課題】各バンプの高さを容易に均一化することができる製造方法を実現し、カード型プローブにおけるバンプ付き薄膜シートの接触安定性を向上させる。
【解決手段】薄膜シート24に複数の貫通孔36を形成する工程と、基板32上にポジ型のドライフィルム38及び薄膜シート24を積層させる工程と、薄膜シート24の表面側に露光処理を施し、貫通孔36内に露出したドライフィルム38を感光させる工程と、現像処理を施して感光部分38ａを除去することによって、薄膜シート24の貫通孔36と連通する貫通孔40を形成する工程と、薄膜シート24の表面側にメッキ処理を施し、貫通孔36及び貫通孔40を連通するバンプ26を形成する工程と、薄膜シート24をバンプ26ごとドライフィルム38から剥離することにより、各バンプ26の先端部27を薄膜シート24の表面から突出させる工程を備えた。 （もっと読む）