【課題】ハンドが衝突した際に発生する力を逃がす機構（衝突トルク緩衝機構）を提供することで、アーム側への力の伝達を緩衝させる。
【解決手段】ハンド２８とアーム２７の先端との間にあって、ハンド２８に固定されるハンド側フランジ部５２と、アーム２７の先端に固定されるとともに、一定の摩擦力によってハンド側フランジ部５２と相対的に回転しないよう前記ハンド側フランジ部５２を保持するアーム側フランジ５１と、を備え、ハンド２８の衝突時の衝突回転トルクが前記摩擦力を超えたとき、ハンド側フランジ部５１とアーム側フランジ部５２とが滑り出すようにした。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に大きな反り（撓み）があっても基板の反りに合わせて、確実に吸引できる基板吸着装置と、それを用いたガラス基板搬送用ロボットを提供する。
【解決手段】上部周囲に３６０度に亘る周縁凸部２３ａを設けると共に上部中央から下方に貫通する吸気貫通孔２３ｃを設けた吸引パッド２３と、中央部に設けた凹部２１ａと該凹部２１ａの底部中央から外部に通じる吸気通路２１ｃ、２１ｄとを有するパッド座２１と、吸引パッド２３とパッド座２１との間に介在するクッション材として蛇腹状をした弾性パッド支持体２２を用い、さらに、吸引パッド２３に支点となる支点軸２３ｂを設け、支点軸２３ｂがはまる溝の深さをパッド押さえ２４で変えるようにした。 （もっと読む）

【課題】基板が熱膨張・熱収縮しても、基板を吸着したまま確実に追従することができる基板吸着装置を提供する。
【解決手段】中央部に設けた凹部２１ａと凹部２１ａの底部中央から外部に通じる吸気通路２１ｂと凹部の周囲に設けたボール収納凹部２１ｃとを有するパッド座２１と、大口径円筒部２２ａと大口径円筒部２２ａに連接する小口径円筒部２２ｂから成る弾性体のパッド支持体２２と、つば２３ｂを有する円筒部２３ａから成る帽子状をした、上部周囲に周縁凸部２３ｃと中央に吸気孔２３ｄを設けた吸引パッド２３と、を有する基板吸着装置であって、ボール収納凹部２１ｃにボール２４を収納し、パッド座２１の吸気通路２１ｂ上にパッド支持体２２を立設し、大口径円筒部２２ａの上面に吸引パッド２３を載置し、吸引パッド２３の垂直方向および水平方向の移動を許容するパッド押さえ２５を設けた。 （もっと読む）

【課題】 磁性を有するワークを、確実かつ安定して切り出せるワーク切り出し装置を提供する。
【解決手段】 多数本のパイプＰを、パイプ切り出し装置１０の搬送路１３の両側方に配置された浮遊用磁石１４，１４間に投入する。すると、各パイプＰは両浮遊用磁石１４，１４の磁極の吸引力により、磁界中に、磁束の方向と直交する方向への整列状態で浮遊する。この際、各パイプＰは同じ側の端部が同じ磁極に磁化される。その結果、隣接するパイプＰ同士は互いに反発し合って隙間ができる。そのため、浮遊中のパイプＰを切り出す場合、切り出し手段１９によって１本ずつパイプＰをピックアップしやすい。結果、確実で安定したパイプＰの切り出しを行うことができる。 （もっと読む）