【課題】インゴットのスライス工程から排出された増粘剤を含有するクーラントから切り粉を分離除去し、清澄なクーラントを回収する方法を提供する。
【解決手段】インゴットのスライス工程から排出された増粘剤を含有するクーラントを、セラミック膜４によりろ過してシリコン切り粉を膜分離し、回収された清澄なクーラントを回収する。膜孔径が１〜１０μｍのセラミック膜４を用いることにより、増粘剤を含有するクーラントのろ過速度を確保するとともに、定期的に空気逆洗を繰り返すことにより、ろ過速度の低下を抑制しつつクロスフローろ過する。 （もっと読む）

【課題】ろ過エレメントの外径公差が大きい場合にもハウジング内径を調節する必要がなく、同一の断面サイズのＯリングによってハウジングの端部内周面とろ過エレメントの端部外周面との間を確実にシールすることができるろ過モジュールを提供する。
【解決手段】多数の貫通孔６が形成された円柱状のセラミック製のろ過エレメント２を、ハウジング１の内部に収納しその端部内周面とろ過エレメント２の端部外周面との間をゴム製のＯリング１２によりシールしたろ過モジュールである。ハウジング１の端部内周面に、該端部内周面に向かって拡がるＶ字状の断面形状を備え、かつ該端部内周面の反対位置にＯリングの逃げ込みスペース１３を形成したＯリング収納溝５を形成し、ろ過エレメント２の外径公差を、この逃げ込みスペース１３へのＯリング１２の逃げ込み量により吸収させる。 （もっと読む）

【課題】加工機から排出された使用済み研削液から微細な切り粉やワイヤー磨耗粉等をほぼ完全に除去し、分散液を高い回収率で回収して再利用することができる使用済み研削液の再利用方法を提供する。
【解決手段】砥粒と分散液と切り粉とを含む使用済み研削液を、第１の分離手段３で遠心分離して砥粒を回収し、次に第２の分離手段４でより高速で遠心分離して切り粉を分離し、更に第３の分離手段５で膜分離して分散液を回収し、回収された分散液を第１の分離手段３で回収された砥粒と調合して研削液として再利用する。第３の分離手段５としては膜孔径が０．０１〜１μｍのセラミック膜を使用することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程のいわゆる前工程で好適に使用されるものであり、簡便な制御機構によって炭酸ガスの流量を制御可能で、設置スペースが小さく、その製造コストが低廉である比抵抗制御装置を提供する。
【解決手段】薬液流体を供給する薬液流体供給手段１０と、超純水を供給する稀釈流体供給手段２０と、薬液流体及び超純水を混合させて処理水として排出する処理水調合手段３０とを備え、薬液流体供給手段１０が、分岐した第一の分岐路４２及び第二の分岐路４３からなる送液路４０と、第一の分岐路４２及び第二の分岐路４３に配置され、処理水調合手段３０に流入する薬液流体の流量を制限するフィルタ５１と、処理水調合手段３０から排出される処理水の比抵抗値に対応して、第一の分岐路４２、または第一の分岐路４２及び第二の分岐路４３を開閉する一つの開閉弁５２とを備える比抵抗制御装置１００。 （もっと読む）

【課題】高い歩留まり、高い回収率で、目的成分が所定濃度に調整され無菌性である高品質の薬液を得るための好適な手段を提供すること。
【解決手段】複数の原料を受け入れ、所定の比率で混合をして調製液を得る調製槽２と、その調製槽２と連絡主配管２１で接続され、得られた調製液の無菌濾過をする無菌フィルタ３と、その無菌フィルタ３と連絡主配管２２で接続され、無菌濾過された調製液を受け入れる濾液槽４と、を具備するとともに、原液乃至調製液の液量を測定する液量測定手段を、調製槽２に備え、その液量測定手段が、ロードセル又は圧力計である薬液調合装置１の提供による。 （もっと読む）