【課題】 被塗布物に対して吹き付けによって強固で、かつムラなく均一なバリアー膜をローコストに形成可能なバリアー膜形成方法およびバリアー膜形成装置を提供する。
【解決手段】 乾燥前の被塗布物２の表面に塗布された塗布液に塗布ムラがあったり、一部が途切れていても、マイクロウェーブを照射することによって、被塗布物２の表面に塗布された塗布液を均一化させるので、被塗布物２の表面に厚みムラや孔などの無い、均一化された強固なバリアー膜３５を形成することが可能になる。被塗布物２の表面にはガスバリアー性に優れた強固なバリアー膜３５が形成される。 （もっと読む）

【課題】 被塗布物に対して吹き付けによって強固で、かつムラなく均一なバリアー膜をローコストに形成可能なバリアー膜形成方法およびバリアー膜形成装置を提供する。
【解決手段】 噴射部１２は、例えば２つのスプレー装置２５，２６を備えている。スプレー装置２５，２６は、それぞれ供給タンク２５ａ，２６ａと、この供給タンク２５ａ，２６ａから延びるスプレーガン２５ｂ，２６ｂとを有する。供給タンク２５ａには、バリアー膜を形成するためのバリアー剤２５ｃが、また供給タンク２６ａには、バリアー膜を被塗布物２に定着させるバインダー剤２６ｃがそれぞれ収容され、スプレーガン２５ｂ，２６ｂから被塗布物２に向けてそれぞれ噴射される。 （もっと読む）