【課題】縦置きのワークを取り出して搬送することができるベルヌーイチャックを提供する。
【解決手段】本発明に係るベルヌーイチャック１は、ワークＷを非接触状態で吸着保持するもので、流路部材１１の流路を開閉する開閉弁１３と、吸着保持板３１の先端側の前記吸着面３１ｄに対して出没可能に設けられて突出状態において前記ワークＷの移動を規制する可動ストッパ３６と、前記開閉弁１３の開閉および可動ストッパ３６の出没を切り替えるスイッチ機構５とを備える。スイッチ機構５は、開閉弁１３を閉じ、且つ可動ストッパ３６を埋没させる第１切替状態と、開閉弁１３を開き、且つ可動ストッパ３６を埋没させる第２切替状態と、前記開閉弁１３を開き、且つ可動ストッパ３６を突出させる第３切替状態とを切り替える。 （もっと読む）

【課題】撓んだ肉薄ワークであっても吸着可能であり、吸着時にもワークに損傷を与えることなく搬送時においてワークの移動を防止でき、且つ薄型化および小型化可能な簡素な構成のベルヌーイチャックを提供する。
【解決手段】ワークＷを吸着保持するベルヌーイチャック１において、円板状の吸着保持板７の平面状の吸着面７Ａに、吸着保持板７の外周側面７Ｂに開口する外端１１Ａを有する４本の直線状の溝１１を放射状に設け、吸着保持板７の内部に、吐出ポンプに連通する圧縮空気供給路１０を穿設するとともに、放射状に設けた分配流路１２によって圧縮空気供給路１０と各溝１１の内端１１Ｂとを連通させる。 （もっと読む）

【課題】 真空ピンセットを構成する吸着シールと保持部材との接合構造の安定性を高めるとともに保持性能を長期に渡り維持可能とする。
【解決手段】 負圧を利用して被吸着物を吸着保持する真空ピンセットにおいて、一方の面に溝１１が形成され、溝１１の底部１１ａに開口するとともに真空ポンプに連通する通路１７を備えた吸着シール保持部材４と、溝１１に嵌合する形状を有するベース部５Ｂ及び、ベース部５Ｂから突設され、内面が通路１７と連通して被吸着物との間に負圧領域を形成する外周壁６を備えた吸着シール５とを有し、溝１１の側面には溝１１の長手方向に沿って保持部材凹条１６が形成され、ベース部５Ｂの側面には保持部材凹条１６に対応する吸着シール凸条１５が形成され、ベース部５Ｂには、外周壁６の内面と通路１７とを連通する連通孔９が穿設された構成とする。 （もっと読む）

【課題】
ワークＷを手前に引き寄せるようにスライドさせながら吸着できるようにし、吸着保持板７をウエハ用カセットの奥まで挿入する必要がないようにすると共に、吸着保持板７を薄型に形成できるようにし且つ流路形成部材１２，１３の加工を容易にすること、などを主たる目的としたベルヌーイチャック１の吸着保持部３Ａである。
【解決手段】
吸着保持板７内に連通流路１１を設け高圧気体の吐出流路１０に接続すると共に、吸着保持板７の先端側には吸着面側に開口する高圧気体の噴射口８，９を設けた流路形成部材１２，１３を埋設し、流路形成部材１２，１３には後端側へ傾斜状に形成して一端を連通流路１１に他端を噴射口８，９に接続した連通孔１２ｄ，１３ｄを設け、吸着保持板７の後端側にはワークＷに対するストッパ１４を吸着面から突出形成した。 （もっと読む）

【課題】
吸着保持面３を実質的に拡大させてベルヌーイ効果による吸着保持力を増強させ且つ、吸着保持したワークＷのスライドを防止すると共に、共通のベルヌーイチャックを用いてチャック補助部６のみを交換し、形状や口径の異なるワークＷに適合させて最適な吸着保持を可能にすることなどを目的としたベルヌーイチャック１を提供する。
【解決手段】
高圧気体の吐出口を設けた吸着保持面３の外周囲に対し、吸着対象となるワークＷとほぼ等しい外形で吸着保持面３の外周囲を包囲するガイドリング２８と、ガイドリング２８の外周囲から突出形成したワーク係止片２９で構成したチャック補助部６を着脱可能に装着した。 （もっと読む）

【課題】吸着板の反りによる面精度の低下をなくして空気漏れによる吸着保持力の低下を防止すると共に、吸着板の製造コストと張り合わせコストが掛からず、吸着補助板の分だけ薄形化及び軽量化し、内部洗浄の容易化と接着剤による汚染の防止を図った真空ピンセットの吸着ユニットを提供すること。
【解決手段】各吸引口８を開口させた吸着面で吸着対象物Ｗをハンドリングする真空ピンセットの吸着ユニット２であって、所望の平面形状で平板状に形成した吸着板本体５の吸着面とは反対の上面側には、上部側の嵌合用溝部７ａと下部側の連通用溝部７ｂで形成した溝穴７を各吸引口８に沿って延在する態様で設け、下部側の連通用溝部７ｂは各吸引口８にそれぞれ連通させると共に、真空圧源に接続する吸引流路１０に連通させ、上部側の嵌合用溝部７ａには弾性シール部材６を着脱可能に装着した。 （もっと読む）

【課題】少ない吐出空気量によって特に保護シートの剥離を容易且つ確実にすること、搬送容器との接触による吸着対象物の損傷又は落下を防止すること、吸着保持力の低下防止などを図ること。
【解決手段】ピンセット本体１Ａは吸引路９ａと吐出路１０ａを内蔵する把持操作部５と、吸引路９ａと吐出路１０ａを吸着部１Ｂ側へ作用させる流路を形成した流路接続部６で構成し、吸着部１Ｂには円板状をした吸着板７の外周側に多数の吸引口１７を設けた環状の吸着面２３を設け、各吸引口１７を環状の連通路２２で連通させると共に、当該連通路２２は流路接続部６を介して把持操作部５の吸引路９ａに連通させ、流路接続部６には吸着対象物３，４の外周側一部上面に対して圧縮空気を噴射する吐出口２０を吸引口１７に隣接した外側位置に設け、当該吐出口２０は螺旋状溝による旋回流発生部１８を介して把持操作部５の吐出路１０ａに連通させている。 （もっと読む）