【課題】腐食性の流体に対しても高度の耐久性を有する調節弁装置を提供する。
【解決手段】シートリング２はケーシング１の隔壁１３に配されており、一次室１１と二次室１２とに連通する開口Ｏを有する。カバープレート３は、シートリング２と対面する位置でケーシング１に取り付けられている。プラグ４は、カバープレート３を挿通してケーシング１に取り付けられており、シートリング２の開口Ｏに整合している。ステム５は、プラグ４をシートリング２の開口Ｏに対して前進後退可能に駆動して、一次室１１側と二次室１２側とで流体の流量や圧力を調整する。シートリング２は開口Ｏを形成する部分が、流体に対して耐腐食性を有するセラミック材料からなる。またプラグ４も開口Ｏと当接する部分も耐腐食性を有するセラミック材料からなる。更にカバープレート３は、流体に接する部分が耐腐食性でコバルト及びクロムを主成分とする超硬合金材料からなる。 （もっと読む）