【課題】所期の露点温度および湿度を有する理想的な飽和空気を、高い安定性を保ちつつ発生・供給する。
【解決手段】水を貯留するための飽和槽本体と、該飽和槽本体を囲繞するケーシングとを有する二重構造から成り、飽和槽本体とケーシングとの間に、水を加熱するための恒温液を貯留する恒温液ジャケットを画成した飽和槽と、内部に飽和槽を収容設置するとともに、飽和槽を加熱するための恒温液を貯留し、該恒温液に飽和槽の全体を浸漬させて成る恒温液槽と、飽和槽の恒温液ジャケットに貯留する恒温液を所期の温度に設定するための飽和槽用温調手段と、恒温液槽に貯留する恒温液の温度を所期の温度に設定するための恒温液槽用温調手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】温度調整したミラーの表面が結露する際の状況に基づいて、被測定気体の露点を測定する鏡面冷却式露点計であり、被測定気体における露点の計測精度を向上させ、併せて短時間で被測定気体の露点を計測する。
【解決手段】被測定気体Ｇを供給／排出させて内部に被測定気体を流通させる計測チャンバ２と、計測チャンバの内部に収容設置されて流通する被測定気体に晒されるミラー３と、該ミラーの温度を調整する温度調整手段４と、ミラーの温度を計測する温度計測手段５と、ミラーの表面を照明する光源９と、ミラーの表面を撮像する撮像カメラ１０と、該撮像カメラからの画像情報に基づいてミラーの表面における結露／結霜の発生状況を判定する画像解析手段１０１と、画像解析部による判定の結果に基づいてミラーの温度を一定に保持すべく温度調整手段４の動作を制御する温度制御手段１０２とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 水蒸気で飽和している定量の気体と、完全に乾燥している定量の気体とを混合することで、発生・供給される調湿気体の湿度精度を常に高い精度において維持することができ、併せて１台あたりの製造に関わるコストを安価に抑えることの可能な調湿気体発生装置を提供する。
【解決手段】 調湿気体発生装置は、乾燥気体を所定の容量だけ吸引して送出するピストンポンプ３と、導入された乾燥気体と飽和気体とを混合する気体混合部６と、ピストンポンプから送出された乾燥気体を直接に気体混合部へ導入するドライ側流路Ｌｄと、ピストンポンプから送出された乾燥気体が飽和気体生成手段５を介して生成される飽和気体を気体混合部へ導入するウェット側流路Ｌｗとを具備し、気体混合部において乾燥気体と飽和気体とを所定の比率で混合させることで所望する湿度の気体を発生させる。 （もっと読む）