【課題】基板にドライフィルムをラミネートするラミネート装置において、基板間のフィルム継ぎ目領域を低減し、生産性を向上する。
【解決手段】基板Ｗの両面に、それぞれドライフィルムｆ１，ｆ２を供給するフィルム供給手段２０，２１と、基板搬送路を挟んで対配置され、それぞれ回動自在に軸支された仮付けローラ１６，１７を有し、前記仮付けローラにより前記ドライフィルムを介して前記基板の両面を加圧しながら該基板を搬送し、基板両面にドライフィルムを仮付けするフィルム仮付け手段と、前記基板搬送路を挟んで対配置され、それぞれ回動自在に軸支された加熱ローラ１８，１９を有し、前記基板両面に仮付けされたドライフィルムを前記加熱ローラにより加熱しながら該基板を搬送し、基板両面に前記ドライフィルムをラミネートする加熱ラミネート手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】間紙に付着している粉塵等の付着物を効果的に除去することができると共に、省設置スペースとし、且つメンテナンスを容易とすることができる間紙クリーニング装置を提供する。
【解決手段】ブラシクリーニング手段４は、縦方向に形成された搬送路３５の左右に対配置された搬送ローラ２１により前記間紙Ｐを縦立させて上方に搬送する間紙搬送手段と、前記間紙搬送手段により上方に搬送される間紙Ｐの表裏面に対し、前記搬送路３５の左右に対配置されたロールブラシ２３を回転させることにより除塵処理するロールブラシ手段と、前記ロールブラシ手段により除塵処理され、前記間紙搬送手段により上方に搬送される間紙Ｐの表裏面に対し、前記搬送路３５の左右に対配置された直線ブラシ２４を摺接させて除塵処理する直線ブラシ手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板に設けられた複数の基板基準マークのマーク間距離を測定する測定装置において、高精度にマーク間距離を測定し、測定結果を後工程のデータベースとして出力することにより、ワークの歩留まりを向上することができる測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】寸法が予め決められた複数のスケール基準マーク１５が形成された透明ガラス板１２と、基板基準マークＰとスケール基準マーク１５とを撮像する撮像手段１３と、撮像手段１３により撮像された基板基準マークＰとスケール基準マーク１５との２次元座標上距離と、複数のスケール基準マーク間距離とに基づき、基板基準マークＰのマーク間距離を算出する演算処理手段２１とを備える。 （もっと読む）