【課題】大口径のウエハーに対応可能な大型の処理槽であっても製作が容易であり、処理槽内に蓄えられる処理薬液による水圧にも耐え、薬液の量を削減できかつ効率よく薬液を大面積のウエハー表面に流れるような構造を有する石英ガラス製ウエハー処理槽及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体ウエハーを処理薬液に浸漬処理する為に使われる石英ガラス製ウエハー処理槽であって、
上方及び前後方向に開口する半円筒形底壁及び該半円筒形底壁の相対向する一対の側端線から上方に延長する相対向する一対の側壁を設けてなる樋状部材と、
該樋状部材の前端面に設けられた前壁と、
該樋状部材の後端面に設けられた後壁と、を含む処理槽本体を有し、かつ
前記半円筒形底壁の内面半径Ｒが前記処理対象ウエハーの半径ｒを超える大きさであると共に前記側壁の高さＨが前記半円筒形底壁の内面半径Ｒよりも大であるようにした。 （もっと読む）

【課題】超音波洗浄装置に用いられかつ精密機器や半導体工業部品、及び医療機器の超音波洗浄装置に使用される耐熱ガラス（ホウケイサンガラス、パイレックス（登録商標））や理化学用ガラス（高ケイ酸塩ガラス、バイコール（登録商標））、更には石英ガラスを用いたガラス洗浄槽において、特に超音波が通過する面の表面状態の改良を行ったガラス洗浄槽及び当該ガラス洗浄槽を具備した超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】超音波洗浄装置において用いられかつガラス板によって形成された底壁及び前後及び左右の側壁を有し上部を開口したガラス洗浄槽であって、
前記ガラス洗浄槽の少なくとも一つの壁の内面及び外面を鏡面研磨面とし、
前記鏡面研磨面は、２乗平均粗さＲＭＳが０．０２μｍ以下及び平面度が０．１ｍｍ以下であって、前記超音波洗浄装置の超音波振動子からのエネルギー減衰が５％以下であるようにした。 （もっと読む）

【課題】光損失を減少させ、測定用試料が熱の影響を受けにくくし、測定精度を向上させることが可能なラマンスペクトル分光器を提供する。
【解決手段】この発明のラマンスペクトル分光器を構成するセル管１００は、セル管先端部１０１とセル管本体１０２とから構成される。セル管先端部１０１およびセル管本体１０２は、たとえば石英ガラス（合成石英硝子）からなっている。セル管先端部１０１とセル管本体１０２との接合には、次の二通りの方法を採用している。第一は従来のように有機系の接着剤を使う方法である。第二は、セル管先端部１０１とセル管本体１０２とを接着剤を使うことなく接合する方法である。 （もっと読む）