【課題】各工程間の待機時間を短縮して一連の貼合処理に要する時間を短縮でき、全体として生産性を向上できるワーク貼合装置を提供する。
【解決手段】貼合装置を以下の各装置で構成する。搬送ベルト１２上に吸着した第１ワークＷ１を、貼合位置へ向かって間欠的に送給するコンベア装置１。複数の吸着台４０で吸着した第２ワークＷ２を間欠的に回転操作して、貼合位置に送給された第１ワークＷ１と正対させる回転台２。第１剥離装置６および第２剥離装置７。回転台２を間欠回転する過程で、各ワークＷ１・Ｗ２の位置を検出して位置ずれを矯正する位置決め装置８。位置決め後の第１ワークＷ１を、搬送ベルト１２の内部に設けた貼合ローラー３１で第２ワークＷ２に押し付けて、両ワークＷ１・Ｗ２を貼合する貼合装置５。上記の各装置で、両ワークＷ１・Ｗ２の供給、保護紙の剥離、位置決め、および貼合を連続して行なう。 （もっと読む）

【課題】基板の貼合面に湾曲部やうねりなどがある場合でも、機能性シートなどの貼合対象を密着貼合して、貼合製品の生産性を向上できる基板貼合装置を提供する。
【解決手段】第１ワークＷ１と第２ワークＷ２を上下に正対させ、第１ワークＷ１をローラー機構６で第２ワークＷ２に押し付けて貼合を行なう基板貼合装置である。ローラー機構６は、往復移動する駆動台２０と、メインローラー２２と、２個の中間ローラー３２と、押圧構造などを含む。押圧構造は、メインローラー２２の中心軸に沿って配置した５個の押圧台３３と、各押圧台３３に設けられて中間ローラー３２を支持する３個の矯正ローラー３４・３５と、個々の押圧台３３を押し上げ操作する複数個のエアーシリンダー３６とを含む。メインローラー２２を複数個のエアーシリンダー３６で、矯正ローラー３４・３５と中間ローラー３２を介して浮動支持した状態で貼合を行なう。 （もっと読む）

【課題】一対のワークを確実に貼合でき、しかも真空チャンバーの減圧に要する時間を大幅に短縮して、エネルギー消費と運転コストを削減できるワーク貼合装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバー２の内部を減圧した状態で、第２ワークＷ２をプレス体６で第１ワークＷ１に押し付けて１次貼合し、さらに、真空チャンバー２の内部に加圧空気を供給して２次貼合を行なうワーク貼合装置を前提とする。真空チャンバー２の内部を、真空チャンバー２といずれか一方の定盤４との間に設けたシール体２０で、第１チャンバー２１と第２チャンバー２２とに区分する。１次貼合を行なう際に、第１チャンバー２１と第２チャンバー２２のそれぞれに真空源３の真空圧を作用させて減圧する。２次貼合時に、第１チャンバー２１と第２チャンバー２２に加圧空気を作用させて、定盤駆動構造１１に作用する加圧負荷を軽減する。 （もっと読む）

【課題】素子基板と封止基板の貼り合せ時に、素子基板と封止基板の間に気泡が混入することがなく、かつ素子基板と封止基板にずれが生じることがない有機発光パネルの製造装置及び有機発光パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】下側真空容器１及び上側真空容器２を密閉して、第１の空間と第２の空間を真空とし、封止基板３を上昇させて素子基板４と接触させ、第１の空間に大気圧又は大気圧以上の気体を導入して、第１の空間と第２の空間との間に生じた差圧をダイアフラム８を介して素子基板４に作用させることにより素子基板４と封止基板３とを圧着した。 （もっと読む）

【課題】一連の貼合処理を迅速に行なって、貼合体の生産性を格段に向上できるワーク貼合装置を提供する。
【解決手段】複数の吸着面１２ａ・１４を備えた第１回転台１および第２回転台２を、吸着面１２ａ・１４どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で隣接配置する。両回転台１・２の周りに、ワーク供給および取り出しのための第１ステージＳ１と、保護紙を剥離する剥離のための第２ステージＳ２と、位置決めのための第３ステージＳ３と、貼合のための第４ステージＳ４を設ける。各ワークＷ１・Ｗ２を各ステージＳ１〜Ｓ４に順に対向させて、各ワークＷ１・Ｗ２の供給および取り出しと、各ワークＷ１・Ｗ２の保護紙４２の剥離と、両ワークＷ１・Ｗ２の位置決めと、ワークＷ１・Ｗ２どうしの貼合とを連続して行なう。 （もっと読む）

【課題】貼合面にプリント配線などの突起がある場合でも、一対のワークを確実に貼合して貼合不良を解消し、貼合体製品の歩留まりを向上できるワーク貼合方法を提供する。
【解決手段】貼合面にプリント配線Ｓが形成してある第１ワークＷ１と、機能性シートからなる第２ワークＷ２を貼合対象とする。真空チャンバー２の内部には、第１貼合台４と、プレス膜６を備えた第２貼合台５とを対向配置する。第１貼合台４に第１ワークＷ１を装着し、第２ワークＷ２をプレス膜６で吸着固定する。真空チャンバー２を閉鎖し、両ワークＷ１・Ｗ２を所定の接合隙間を介して対向させ、真空チャンバー２内の空気を排気する。作動室１４に加圧空気を供給し、第２ワークＷ２を膨張するプレス膜６で第１ワークＷ１に押し付けて１次貼合する。プレス膜６による加圧を停止した後、真空チャンバー２に加圧空気を送給して、第２ワークＷ２を加圧空気で第１ワークＷ１に押し付けて２次貼合する。 （もっと読む）

【課題】貼付け面の周囲が額縁状の枠体で囲まれている貼合対象に対して、フィルム等の貼合体を好適に貼合できるワーク貼合装置を提供する。
【解決手段】貼合体Ｗ１を支持する第１貼合台１と、貼合対象Ｗ２を支持する第２貼合台２とを備えている。貼合対象Ｗ２は、貼付け面５と額縁状の枠体６を備えていて、両者の間に段差Ｔ２がある。第１貼合台１は、真空チャンバー８とシルクスクリーン９とを有し、シルクスクリーン９の外面に貼合体Ｗ１を支持する載置ベース１０を配置する。真空チャンバー８の内部には、載置ベース１０を押圧操作するローラー１１を設ける。載置ベース１０は、通気可能な一群の硬質シート１４を積層し、積層された硬質シート１４の押圧始端側の端面を固定して構成する。以て、載置ベース１０を、ローラー１１に追随して局部的に湾曲変形させながら貼合体Ｗ１を貼付け面５に貼合する。 （もっと読む）

【課題】より簡単な構造でワークを吸着保持して、ワーク貼合面への空気のかみ込みを解消でき、貼合製品の歩留まりを向上できるワーク貼合装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバー２の内部に固定貼合台４とダイヤフラム膜６を備えた可動貼合台５とを対向配置し、固定貼合台４およびダイヤフラム膜６に第１ワークＷ１と第２ワークＷ２を装着する。ダイヤフラム膜６は、一群の通気口１８が形成されたゴム板で形成し、可動貼合台５に設けた空圧凹部１４の開口面の全体を覆う状態で固定する。ダイヤフラム膜６で吸着保持した第２ワークＷ２を第１ワークＷ１と正対させ、真空チャンバー２内に真空圧を作用させる。この状態で、第２ワークＷ２の吸着状態を解除し、同時に加圧空気を空圧凹部１４に作用させて、ダイヤフラム膜６を膨張させ、第２ワークＷ２を中央部から周縁部へと押圧して第１ワークＷ１に貼合する。 （もっと読む）

【課題】粘着テープの消費量が少なくて済み、しかも剥離装置の構造を簡素化して全体コストを削減できる保護フィルムの剥離装置を提供することにある。
【解決手段】剥離対象Ｇが載置されるテーブル１と、粘着テープ６４を接着して剥離始端７ａを形成する粘着ヘッド１０と、剥離始端７ａを挟持して剥離移動する剥離ヘッド１１と、これら両ヘッド１０・１１を駆動操作するヘッド駆動構造を備えている。粘着ヘッド１０には、テープ供給リール６５と巻取リール６６と接着腕６７が設けてある。剥離ヘッド１１には、剥離始端７ａを挟持するクランプ体１９が設けてある。以て、保護フィルム７のコーナー部分に、接着腕６７で支持した粘着面を接着して剥離始端７ａを形成し、剥離始端７ａをクランプ体１９で挟持した状態で、離ヘッド１１を対角線に沿って剥離走行させながら保護フィルム７を剥離対象Ｇから剥離する。 （もっと読む）

【課題】空気のかみ込みを解消でき、しかも一対の平板状のワークを高い精度で平行に貼合して、製品の歩留まりを向上できるワーク貼合装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバー２の内部に、ワークホルダー８を支持するテーブル４と、貼合ダイヤフラム５を設ける。ワークホルダー８は、貼合台２２と、第１・第２の両ワークＷ１・Ｗ２を所定の対向隙間をあけた状態で支持するワーク保持構造２３を備えている。貼合ダイヤフラム５は、貼合台２２の側へ向かって突弧状に膨張変形できる金属製のダイヤフラム膜１４と、圧力室１５を備えている。真空チャンバー２内の空気を真空源３で排気し、圧力室１５に作動流体を供給してダイヤフラム膜１４を膨張変形させた状態でテーブル４を駆動して、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に対して中央部分から周辺部へ向かって貼合する。 （もっと読む）