【課題】マスクに形成されたパターンが精度良く被露光基板に露光されるための被露光基板載置部品及び露光装置を提供する。
【解決手段】透明基板と、透明基板上の縁側一周に設けられた気密保持枠体と、透明基板の気密保持枠体が設けられた側に対向して設けられる可撓性シートと、可撓性シートを、可撓性シートの縁側から、弾性部材の弾性力により面一に引張支持する支持枠体とを有し、透明基板と前記気密保持枠体と前記可撓性シートにより構成される気密空間において、気密空間の空気を吸引した際には、可撓性シートが弾性部材の弾性力に抗して透明基板側に密着されるように構成された被露光部材載置部品により、可撓性シートを被露光部材に密着させる。 （もっと読む）

【課題】筐体を持ち運びが狭い部分にも搬送可能なで保守、点検が容易な露光装置及び露光方法を得る。
【解決手段】上下に配設した被露光部材を露光部へ交互に搬送して、被露光部材の表裏を同時露光するようになした露光装置の筐体は、少なくとも被露光部材載置部筐体ユニットと、上下露光装置部筐体ユニットと、被露光部材載置部筐体ユニットと上下露光装置部筐体ユニットの後部に配設した電源部筐体ユニットとより成る複数の筐体ユニットで構成して被露光部材の露光を行なう露光装置及び露光方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 露光面或いは焼付面等の照射面上に高輝度で分布光量が均一なヘリカル放電ランプおよびヘリカル放電ランプハウスを得る。
【解決手段】 管体１および管体２がヘリカル状の少なくとも２本のヘリカル放電ランプＨＭ１，ＨＭ２を基部３１内の内部反射体４０に立設したヘリカル放電ランプハウス３によって強力、高輝度で且つ、分布光量が均一なヘリカル放電ランプおよびヘリカル放電ランプハウスを得る。 （もっと読む）

【課題】 高温化されても破壊やクラックの生じない冷却媒体レンズ（水レンズ）及び冷却媒体レンズを用いたランプハウスを提供する。
【解決手段】 放電ランプＭを冷却する冷却媒体を用いてレンズをレンズカバー６１と冷却媒体（水）５９によって構成し、高温時のレンズ破壊やクラックの発生による冷却媒体の漏洩を防止することを目的とする。 （もっと読む）