【課題】 狭いスペースに複数の処理部を配置して基板の処理を連続的にできるとともに、搬送装置の制御や保守が容易で、且つ設備コストを低減できる基板処理ラインを提供する。
【解決手段】 鉛直面内で環状に形成された基板搬送路の左右両側に沿って設置された一対のガイドレール３と、これらのガイドレールに同数ずつ移動自在に案内され、移動方向に隣り合うものどうし屈曲自在に無端状に連結された複数のキャリア２と、基板搬送路の左右両側を移動するキャリアどうし、対向した位置を保つように同期して各キャリアを駆動する駆動装置と、基板搬送路の左右両側で対向するそれぞれのキャリアに設けられて、矩形状基板の少なくとも４隅近傍を左右両側から把持する複数のクランプ部材と、少なくとも基板搬送路の上方搬送路部分Ｃ１と下方搬送路部分Ｃ２に沿ってそれぞれ設置され、各キャリアにより搬送される基板に対して所定の処理を施す複数の処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 薄くて撓みやすいフレキシブル基板や、撓みにより破損し易いガラス基板を、撓ませずに搬送することができるようにする。
【解決手段】 矩形シート状の基板Ｐの少なくとも４隅近傍部分を、同一平面内に位置する複数のクランプ部材１３で把持しつつ、これらのクランプ部材１３で前記基板Ｐの中心から離れる向きに前記平面内で均等に引っ張りながら、これらのクランプ部材１３を一体的に移動させて基板Ｐを搬送する。基板の自重や搬送中の振動により基板が変形したり、破損したりする事故を防止することができ、特に、エッチング処理工程等において基板を搬送しながら処理する場合に、ノズルから基板表面に向けて噴射される処理液の圧力を受けても、基板が撓んだり波打ったりすることがなく、処理中の基板の破損や変形を効果的に防止できる。 （もっと読む）