電気発生器と非線形負荷との間の相互作用を安定化させるためのシステム、方法、および装置が記述される。一例示的実施形態は、発生器の出力に結合されるインピーダンス要素と、インピーダンス要素に結合される電源とを含む。電源は、通常、インピーダンス要素を介したエネルギー散逸のために生じるようなエネルギー損失を低減させるように、インピーダンス要素に、またはそれにわたって電力を印加する。多くの変形例では、電源は、安定化効果が規定された帯域幅の外において達成されるように、この帯域幅内において動作する。
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プラズマチャンバ内のイオンエネルギーを調整するためのシステム、方法、および装置を開示する。例示的システムは、イオンエネルギー制御部分を含み、イオンエネルギー制御部分は、基板の表面に衝突するイオンのエネルギーの所望の分布を示す、少なくとも１つのイオンエネルギー設定に応答して、少なくとも１つのイオンエネルギー制御信号を提供する。コントローラは、スイッチモード電源に結合され、コントローラは、少なくとも２つの駆動制御信号を提供する。加えて、スイッチモード電源は、基板支持部、イオンエネルギー制御部分、およびコントローラに結合される。スイッチモード電源は、基板の表面に衝突するイオンのエネルギーの所望の分布を生じさせるように、駆動信号およびイオンエネルギー制御信号に応答して、基板に電力を印加するように構成される、スイッチング構成要素を含む。
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処理チャンバに送達される電力を管理するためのシステムおよび方法を記載する。一実施形態において、初期期間中に、プラズマ処理チャンバへの電力の印加を開始する間に、電流が、プラズマ処理チャンバから引き出され、引き出される電流の量は、初期期間中に、初期期間中にプラズマ処理チャンバに印加される電力の量が増加するように、減少する。
一実施形態において、方法は、プラズマチャンバ内のアークを検出するステップと、該検出されたアークに応答して、アークを消弧するように、プラズマ処理チャンバから遠のくように電流を分流するステップとを含み、プラズマ処理チャンバへの電流の印加を開始するステップは、アークが消弧された後に生じる。
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本願では、電荷方式制御のための装置および方法について、開示される。電荷方式コントローラの実施形態は、デューティサイクルスイッチを通る電流を監視し、電流をスイッチ電流値に変換するように構成されているアナログ／デジタルコンバータと、切替サイクル中に、スイッチ電流値を累計し、累積電荷値を出力するように構成されているアキュムレータモジュールと、累積電荷値および電荷設定点に応答して、累積電荷値が、電荷設定点未満である場合に、デューティサイクルスイッチをＯＮにし、累積電荷値が、電荷設定点に到達する場合に、デューティサイクルスイッチをＯＦＦにし、それによって、コンバータのデューティサイクルおよび電力段によって供給される電力を制御するデューティサイクルスイッチのためのゲート駆動信号を生成するように構成されている、コンパレータモジュールとを含む。
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プラズマ負荷のインピーダンスが発電機と整合されることを可能にする、装置、システムおよび方法について記載する。いくつかの実施形態において、該装置は、プラズマを励起するために利用される電力を印加するように適合される電力出力と、電力サンプルを得るよう、電力出力において印加される電力をサンプリングするように適合されるセンサと、発電機の出力およびインピーダンス制御出力に接続されるインピーダンス整合ネットワークが、インピーダンス制御信号に応答して、プラズマのインピーダンスを、発電機の動作インピーダンスと整合させることを可能にする、インピーダンス制御信号を、電力サンプルに応答して提供するように構成されるインピーダンス制御出力と、を含む。
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時間的に変化する負荷に連結される発電機の動作周波数を同調させるための方法および装置を説明する。１つの例証的な実施形態は、発電機の現在の動作周波数での誤差（反射係数の大きさ）を迅速に計算し、発電機の周波数を初期ステップサイズによって調節し、第２の誤差を迅速に計算し、そのため、第２の誤差の大きさが第１の誤差の大きさより小さい場合は、ステップサイズが増加させられ、周波数が増加したステップサイズによって調節される。
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光発電システム、方法および装置が開示されている。例示的な実施形態において、システムは、光電池アレイの第一のレールおよび第二のレールに結合するように適合されている第一の入力および第二の入力と、光電池アレイからのＤＣ電力をＡＣ電力に変換するように構成されているインバータと、第一の入力および第二の入力とインバータとに結合されているインタフェース部分とを含み、インタフェース部分は、第一の入力および第二の入力のうちの少なくとも１つをインバータから分離することと、光電池アレイにかかる負荷を増大させ、光電池アレイからインバータに印加される電圧を低減するように、光電池アレイからインバータへの電圧の印加を調節することとを行うように構成されている。
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直流電力供給装置を用いるプラズマベースのスパッタリング堆積の装置と方法が開示される。一実施形態において、プラズマは、複数の電極を電流の供給装置に接続することによって発生され、プロセシングチャンバー内の複数の電極の各々に印加される電圧の極性は、複数の電極の少なくとも一つの電極が材料を基板上にスパッタリングするように周期的に逆転される。そして、複数の電極の少なくとも一つの電極に印加される電力の量は、調節されることにより、静止した基板上に材料を所望の特質を備えて堆積する。一部の実施形態において、基板は、プロセシングの間、チャンバー内に静的に配置される。そして、多くの実施形態は、堆積の状態を示すフィードバックを利用することにより、一つ以上の電極に印加される電力の量を調節する。
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太陽光発電アレイ上の電荷蓄積を軽減するためのシステム、方法、および装置を開示する。一実施形態では、方法は、太陽光発電アレイの一部が接地電位を超えて動作するように、太陽光発電アレイの一部を配列するステップと、太陽光発電アレイを用いて、太陽エネルギーを電気エネルギーに変換するステップであって、太陽光発電アレイの一部は、太陽エネルギーが電気エネルギーに変換される間、太陽光発電アレイの一部の表面上に電荷を蓄積する傾向がある、ステップと、接地電位を超えて動作する太陽光発電アレイの一部の表面上の電荷蓄積を軽減するステップとを含む。 （もっと読む）

太陽電池システム、方法および装置が開示されている。例示的な実施形態において、該システムは、太陽電池アレイと、需要サイドのエネルギー消費者の構内で電力を分配する配電システムと、該太陽電池アレイからのＤＣ電力をＡＣ電力に変換し、かつ該ＡＣ電力を該配電システムに印加するように構成されている、該配電システムに結合されたインバータと、該インバータから引き出される高周波電圧を制動するように構成されたダンピング部分と、該ダンピング部分を通る低周波電流のレベルを低減するように構成されている、該ダンピング部分に結合されたトラッピング回路網とを含む。
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