【課題】吸引管を有する真空エッチング装置において、吹き付けられたエッチング液が基板の走行方向に流れるため、基板のたてとよこのエッチングに差が生じる欠点を改良し、均一なエッチング特性を得ることのできるエッチング装置を提供する。
【解決手段】吸引管４の開口部７を部分的な開口とし、ノズルから基板上に吹き付けられたエッチング液がバイアス状の流れ１０を形成する構造とした。これによってエッチング液は基板上を斜めの異なる方向にクロスして流れる流れ１０となり、よこ方向の回路間の残銅を少なくし、エッチングのたて／よこ比の改良が達成できる。 （もっと読む）

【課題】表裏とも面全体で均一でエッチ・ファクタの高い配線板を得ることができるエッチング装置を提供する。
【解決手段】真空エッチング装置を両面フレキシブル・プリント配線板用に用いるため、スプレーに対向する位置に吸引バーを設け、スプレーの圧力でフレキシブル基板を吸引バーと一体化した自由回転ローラーに押さえつけることにより、吸引バーと基板の距離を一定に保ち、吸引効果を着実にする。 （もっと読む）