【課題】駆動効率及び動作速度を確保できるとともにコンパクトに構成でき、しかも、製造コストを低減することのできるアライメントステージ及び処理装置を提供する。
【解決手段】本発明のアライメントステージ１０は、第１の回転駆動手段と、第２の回転駆動手段と、第１の回転軸線１１ｘを中心に回転可能に軸支されるとともに第１の回転駆動手段により回転駆動される第１の回転体１１と、第１の回転体に対して第１の回転軸線と平行な第２の回転軸線１２ｘを中心に回転可能に軸支されるとともに第２の回転駆動手段により回転駆動される第２の回転体１２と、第２の回転体と一体に構成され、或いは、第２の回転体に固定若しくは連結された移動ステージ１３と、を具備し、第２の回転駆動手段は、第１の回転軸線を中心に回転する第２の回転駆動軸４と、第２の回転駆動軸と第２の回転体との間に接続された第２の回転伝達機構９と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）