【課題】 真空雰囲気下において不要ガスの発生原因となる溶接焼け部を、効率よく安全に行うことが可能な金属製部材の溶接部の表面処理方法を提供する。
【解決手段】 金属製部材の溶接部に、研削粒を含有した溶液を１ＭＰａ〜１５Ｍｐａの圧力で吹き付け、電解研磨、電解酸洗、燐酸による酸洗浄又は化学研磨を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体素子及び電子素子の製造・検査用及び加速器等研究用の低真空から極高真空に到達する真空装置及び真空部品を製作するために最適なチタンまたはチタン合金、並びにその製造方法の提供。
【解決手段】チタンまたはチタン合金の表面を酸液により研磨並びに酸化処理し、その後水により洗浄処理して、当該金属の表面に１０ｎｍ未満の薄い均一かつ緻密な表面酸化層を形成させる。 （もっと読む）

【課題】 真空容器等の真空処理装置を構成する部材の表面に付着した薬液や金属等の付着物を、危険性の高い硝酸等を使用せず除去する。
【解決手段】 真空処理装置を構成する金属製部品を被処理物とする表面処理方法であって、前記被処理物の表面を電解研磨、部分電解研磨、化学研磨、酸洗又は電解酸洗した後に、０．５重量％以上３重量％未満の希アルカリ液に、濃度が０．５重量％以上１０重量％未満となるようにカルボン酸又はカルボン酸塩を添加して得られたアルカリ系キレート液により、前記被処理物の表面を洗浄することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 アルミニウム又はアルミニウム合金に耐食性を付与するためのバリア型陽極酸化処理皮膜を緻密なものとすることにより、ガス放出特性に優れたものとするためのアルミニウム又はアルミニウム合金の耐食処理方法を提供する。
【解決手段】 アルミニウム又はアルミニウム合金の表面に、オゾンにより酸化処理することにより厚さ５ｎｍ〜２０ｎｍの緻密な酸化層を形成し、形成された前記酸化層にバリア型陽極酸化処理を施すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 アルミニウム又はアルミニウム合金に耐食性を付与するためのバリア型陽極酸化処理皮膜を緻密なものとすることにより、ガス放出特性に優れたものとするためのアルミニウム又はアルミニウム合金の耐食処理方法を提供する。
【解決手段】 アルミニウム又はアルミニウム合金の表面に厚さ５〜２０ｎｍの緻密な酸化層を形成し、その後、バリア型陽極酸化処理をすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 真空容器等の被処理物の内壁又は外壁を清浄化するとともに、緻密な酸化層を形成することが可能な表面処理方法を提供する。
【解決手段】 真空処理装置を構成する金属製部品を被処理物の表面処理方法であって、前記被処理物を電源の陽極側に接続し、前記被処理物の表面を研磨するための処理媒体を前記電源の陰極側に接続するとともに、前記処理媒体に電解液を保持させた状態で、前記電極間に、前記電解液を介して直流電流を流すことにより、前記被処理物の表面を、表面粗度（Ｒ_max）が０．１μｍ以上となるように電解研磨することを特徴とする。 （もっと読む）