【課題】従来の技術による諸問題を解決するための多孔性低誘電率材料薄膜構造及び関連製作方法を提供する。
【解決手段】多孔性低誘電率材料薄膜を製作する方法は、（ａ）基板を提供し、（ｂ）第一化学的気相堆積（ＣＶＤ）工程を行い、堆積チャンバーにバックボーン前駆体を導入して基板の上に界面誘電層を形成し、（ｃ）第二ＣＶＤ工程を行い、バックボーン前駆体を導入しながらポロゲン前駆体を堆積チャンバーに導入し、バックボーン前駆体と合わせて界面誘電層の上にポロゲンを含んだバックボーン層を形成し、（ｄ）バックボーン層の中のポロゲンを除去して複数の孔隙のある超低誘電率材料層を形成するステップを含む。界面誘電層と超低誘電率材料層は多孔性低誘電率材料薄膜を構成している。 （もっと読む）

【課題】基板の所定の領域内にイオン注入領域を形成するためのイオン注入方法及びデバイスが提供される。
【解決手段】本方法は、以下のステップを有する。先ず、イオンビームが提供され、次に、そのイオンビームの第１の断面形状と第１のイオン密度分布とが検出される。それから、イオンビームの第２の断面形状と第２のイオン密度分布とが、所定のスキャンパスに沿ってイオンビームを移動することによって検出される。その後、所定のスキャンパスが、第１の断面形状、第１のイオン密度分布、第２の断面形状、及び第２のイオン密度分布に従って調節かつ最適化される。次に、イオンビームは、最適化された所定のスキャンパスに沿って最適化されて、基板の所定の領域内にイオン注入領域を形成する。 （もっと読む）

【課題】従来の技術による諸問題を解決するため、製作工場またはタンク貨車に広範囲に利用される化学タンクの腐食監視制御システムを提供する。
【解決手段】腐食性液体化学薬品を保存する化学タンクの腐食監視システムは、導電外殻と絶縁ライニングからなって腐食性液体化学薬品を収容するタンク本体と、タンク本体に収容される腐食性液体化学薬品にひたる検知電極と、検知電極と電気的に接続される測定器とを含む。そのうち測定器は導電外殻と電気的に接続され、絶縁ライニングが腐食されてタンク本体内の腐食性液体化学薬品が導電外殻と接触すると対応する信号を受信する。 （もっと読む）