【課題】小流量から微小流量まで、流通／遮断時に流体のカットオフをシャープに行う、省電力で高精度のバルブを提供する。
【解決手段】電磁石６の流通／遮断パルスを、空気が封入された制御室部５の、移動式バルブ４の制御ヘッド４−ａにモールドした永久磁石４−ｅにより、バルブの吸引／反発動作は抵抗が殆どなく高速で移動を行う。移動式バルブ内部の流入口４−ｃから流出口４−ｄに流通する液体は、遮断パルスによるバルブのスライドで、流出口４−ｄとシリンダ側面の流出穴３−ｂがクローズし、流路は遮断される。ほぼ同時に流入口４−ｃが閉口し、バルブも閉じる。遮断パルスオフ後、永久磁石４−ｅと電磁石の芯は吸引状態を保持し、遮断状態を維持する。電磁石６に流通パルスを出力すると、反発力を受けた移動式バルブ４は流入槽内２−ｂの永久磁石４−ｆが外側の磁性体１０と吸引状態になり、パルスオフ後も吸引を継続する。 （もっと読む）