【課題】密着層の表面を均一に不動態化する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、吐出エネルギーを発生する発熱部と、該発熱部の上に配置された保護層と、該保護層の上に配置された導電性を有する密着層と、該密着層の上であって少なくとも前記発熱部の上方の領域に配置された上部保護層と、を有し、前記上部保護層は、電気化学反応により溶出する金属を含みかつ加熱により前記溶出を妨げるほどの酸化膜を形成しない材料で構成され、前記密着層を介して電気的に接続されている、液体吐出ヘッド用基板の製造方法であって、前記密着層の表面を酸素を含むガスを放電させることにより酸化し、密着層酸化部を形成する工程を含むことを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。 （もっと読む）

液体イジェクタは、基板、加熱素子、誘電体層及びチャンバを含む。基板は第１の表面を含む。加熱素子は、当該加熱素子と基板の第１の表面との間にキャビティが存在するように、基板の第１の表面の上方に配置される。誘電体層は、キャビティが横方向で当該誘電体層によって境界されるように、加熱素子とキャビティとの間に配置される。チャンバは、ノズルを含み、加熱素子の上方に配置される。チャンバは、キャビティが液体から隔離されるようにして、該液体を受け入れるような形状にされる。
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【課題】複数種の吐出量を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、発一特性や、色濃度や色調の変化によるスジ、ムラ等の画像品位の低下を抑え、異なる吐出量のインクを吐出する各種の吐出口から安定した吐出量を得る。
【解決手段】加熱用発熱抵抗体５００は、記録素子基板１１００の構成層の積層方向に対して、吐出用発熱抵抗体２１９と絶縁層２１６を介して記録素子基板１１００上に形成されて、吐出用発熱抵抗体２１９とインク流路１１０４との間に配置されており、吐出量が多い第１の吐出口列部に配置される第１の加熱用発熱抵抗体と、吐出量が少ない第２の吐出口列部に配置される第２の加熱用発熱抵抗体とを有している。そして、第１の加熱用発熱抵抗体と第２の加熱用発熱抵抗体の各発熱量が個別的にそれぞれ制御される。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドの吐出口面と記録媒体との距離を近づけることで、記録の際のインクの吐出精度が向上した記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】本発明の記録ヘッド１は、ヒータ７が液室１１に面した位置における基板２の裏面に配置されているバックシューティング方式の記録ヘッドである。そして、ヒータ７に接続されている電極８が基板２の裏面に形成され、電極８と、電極８を介してヒータ７へ電気を供給する支持体内配線１５とが、基板２の裏面側で接続されている。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットヘッドの寿命を律速している一つであるヒータの保護膜の耐久を延ばす。
【解決手段】 保護膜（耐キャビテーション膜）を２層構造にして、下層を縦弾性係数大の材料、上層を比較して縦弾性係数の小さい材料として、耐キャビテーション膜の破壊に対する抵抗（≒硬さ）を保ったまま、膜にかかる応力を小さくする。 （もっと読む）

【課題】 吐出エレメントの長尺化（特に０．５インチ以上）やインク組成の変更に伴い、構成部材の線膨張率の違い、液流路壁や吐出孔を形成する樹脂層の応力等にひずみを生じ、また新規インクによっても界面に影響を与え、液流路壁や吐出孔を形成する被覆樹脂層とヒーター基板上の上部保護層との間で剥離が発生してしまう。また、該上部保護層上に有機密着向上層を設けても、該密着向上層と前記上部保護層の界面付近で剥離が発生し、インクが基板上に浸透し、配線の腐食を引き起こしてしまい、その結果、良好な印字が得られなかったり、長期に渡る品質信頼性を確保することが困難であったりした。
【解決手段】 発熱抵抗体と上部保護層とが形成された基板上に、発熱抵抗体と同組成である例えばTaN、もしくはTaSiNからなる密着向上層を形成する。 （もっと読む）

【課題】金属イリジウム自身の持つ耐キャビテーション性、電気化学的安定性、耐熱性、耐熱衝撃性を確保しながら、コゲが付着しにくい表面性が得られるような耐キャビテーション膜を提案する。
【解決手段】インクを吐出するために利用される熱エネルギーを通電によって発生する発熱抵抗体と、該発熱抵抗体に接続される電極とを有する電気熱変換体が具備されるインクジェットヘッドにおいて、
前記抵抗体上に耐キャビテーション保護膜が具備されており、
該耐キャビテーション保護膜が本質的にイリジウムとフッ素からなることを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】キャビテーション耐性に優れ且つ発熱効率の良い発熱抵抗体を備えたサーマルインクジェットプリントヘッドを提供する。
【解決手段】発熱抵抗体３０はチップ基板２１の基板面に接する下部層３１と、下部層３１をアニール処理した中間層３２とこれに密着する発熱抵抗層３３とで形成される。下部層３１はＴａ−Ｓｉ−Ｏ、Ｔａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ、Ｔａ−Ｓｉ−Ａｌ−Ｏ又はＴａ−Ｓｉ−Ａｌ−Ｏ−Ｎのいずれかで形成され、発熱抵抗層３３も同様の組成で形成される。下部層３１の抵抗値Ｒ２は発熱抵抗層３３の抵抗値Ｒ１と「Ｒ２≧Ｒ１×１０」の関係にあり電流は殆ど流れず、薄い発熱抵抗層３３のみが発熱するので発熱効率がよい。また、双方ともに組成成分が同一であるので密着力が強力であり且つ双方の厚さｄ２及びｄ１を合わせた厚さが「ｄ１＋ｄ２≧４０００Å」となるように構成されているのでキャビテーション耐性に優れている。 （もっと読む）

【課題】高効率と耐久性を有することが可能なインクジェットプリンタヘッドを提供する。
【解決手段】本発明に係るインクジェットプリンタヘッドは、基板と、基板の上部に形成され、熱エネルギーを発生する発熱層と、発熱層の上部においてノズル形成部を除いた部分に形成される第１電極と、第１電極の上部においてノズル形成部側から所定幅の領域で形成され、ノズル形成部の中心に近い側で発熱層と接する第２電極と、を含む。 （もっと読む）

複数台のノズル（４６）と各ノズルに対応する１台以上のヒーター素子（１０）とを備えるインクジェットプリントヘッドである。各ヒーター素子が、プリントヘッド内で泡形成液体（１１）をその沸点よりも高い温度まで加熱し、その中に気泡（１２）を形成するように構成される。気泡の発生は、それぞれの対応するノズルを通る（インクのような）射出可能な液体の液滴を射出させ、印刷を実行する。プリントヘッドは、厚さが１０ミクロン未満である構造体（２）を有し、その構造体にノズルが組み込まれる。
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複数台のノズルと各ノズルに対応する１台以上のヒーター素子（５３，１０）とを備えるインクジェットプリントヘッドである。各ヒーター素子が、プリントヘッド内で泡形成液体をその沸点よりも高い温度まで加熱し、泡形成液体内に記号（１２）を形成するように構成される。気泡の発生はそれぞれの対応するノズルを通る（インクのような）射出可能な液体の液滴の射出を生じさせ、印刷を実行する。（同様にインクでもよい）泡形成液体は壊れやすく、崩壊点（１７）を有し、その崩壊点へ向かってそれが崩壊し、各ヒーター素子は、形成された気泡の崩壊点が当該ヒーター素子から間隔（５４）をあけられるように構成される。
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