【課題】ノズルの近くでフィルタ部による異物の除去をしつつ液室に対する十分な液供給ができない。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル４と、各ノズル４が連通する複数の加圧液室６と、各加圧液室６にそれぞれ連通して各加圧液室６に液体を供給する個別供給路２１及び複数の個別供給路２１を相互に連通する連通部２２で構成される液供給部１０と、液供給部１０の個別供給路２１が臨む加圧液室６に供給される液体を濾過するフィルタ部９とを備え、加圧液室６及び個別供給路２１は流路板１に設けた貫通溝２６によって形成した。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔外周部に段差を有し、かつ、撥液性を有するインクジェットヘッドを簡単かつ低コストに製造する方法、当該製造方法により製造されたインクジェットヘッドおよび当該インクジェットヘッドを備える電子機器を提供すること。
【解決手段】インクジェットヘッドの製造方法は、ノズルプレート１１の液滴吐出側面１１２に第１のプラズマ重合膜１７１を形成する工程と、第１のプラズマ重合膜１７１のノズル孔１１１の外周部に対応する部位１７３ａにマスク１８を設置し、当該マスク１８以外の第１のプラズマ重合膜１７１に第２のプラズマ重合膜１７２を形成する工程と、マスク１８を除去して当該マスク１８の設置部位に段差を形成する工程と、少なくとも段差を覆うように撥液膜を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ノズル部材と流路部材とを一体形成したものは滴吐出効率、滴吐出性能の安定性が十分でない。
【解決手段】液体を吐出する複数のノズル４を有するノズル部材部分１Ａと、各ノズル１０４が連通する液室６を形成する流路部材部分１ＢとをＮｉ電鋳で一体形成するとき、ノズル部材部分１Ａを形成するときには低電流密度条件で電鋳を行うことで電鋳膜の結晶粒の粒径を緻密にして高硬度部材とし、流路部材部分１Ｂを形成するときには高電流密度条件で電鋳を行うことで電鋳膜の結晶粒の粒径が相対的に大きくしている。 （もっと読む）

【課題】液滴がより微細化したとしても、ノズルごとの液滴の吐出速度や、液滴の吐出量のばらつきを抑制し、より高精度な液滴吐出が可能な液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド２２は、液滴を吐出するノズル２７を有するノズルプレート１と、ノズル２７に連通する連通孔１６と連通孔１６に連通され圧力を発生する圧力室４を有するスペーサ３と、ノズルプレート１と、スペーサ３との間に配設される補強部材２０を有する液滴吐出ヘッド２２であって、補強部材２０が、（１１０）面方位を有するシリコン単結晶である。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータと平型柔軟基板とを接合するための加熱時間を短くしつつアクチュエータが熱破壊されるのを防止する。
【解決手段】流路ユニットに圧力室からノズルに至る多数の個別インク流路が形成されている。流路ユニットに固定されたアクチュエータユニットの表面に各圧力室に対応するランドが形成されている。アクチュエータユニット及びＣＯＦを、ＣＯＦの各出力端子と対応するランドとがそれぞれ接するように配置する（配置工程）。さらに、上側ヒータをＣＯＦの表面と接触するように配置し、下側ヒータを流路ユニットの表面と接触するように配置する。ヒータ制御装置が、アクチュエータユニットの温度が１６０℃で一定になるように上側ヒータ及び下側ヒータの加熱温度を制御し、各出力端子とこれに接するランドとを接合する（接合工程）。 （もっと読む）

【課題】液体噴射面とヘッド基準面とを高精度に位置決めして、印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッドユニットの製造方法を提供する。
【解決手段】ヘッド基準面Ｂが設けられた保持部材２１０を、当該ヘッド基準面Ｂが当接されて位置決めされる第１の基準面Ｃを有する第１の治具４００に保持させると共に、液体噴射面Ａが設けられた液体噴射ヘッド２を、当該液体噴射面Ａが当接されて位置決めされると共に第１の基準面Ｃに対して相対的に調整可能に位置決めされた第２の基準面Ｄを有する第２の治具４１０に保持させて、保持部材２１０と液体噴射ヘッド２とを接着剤２１５を介して接着させる。 （もっと読む）

【課題】 下部アドレッシング構造の圧電アクチュエータの信頼性を向上させること。
【解決手段】 絶縁性基板３１の上面を、凹部３６及び凸部３７を有する凹凸面に加工する工程（Ａ）、絶縁性基板３１の凹部３６に個別電極として下部電極膜３２を成膜して、下部電極膜３２の上面と絶縁性基板３１の凸部３７の上面とで段差のない平坦面を形成する工程（Ｂ）及び（Ｃ）、平坦面上に圧電体膜３３を成膜する工程（Ｄ）、圧電体膜３３上に上部電極膜３４を成膜する工程（Ｅ）を含む。基板の一方の面に、凹凸膜を成膜し、この凹凸膜の凹部に下部電極膜３２を成膜して、下部電極膜３２の上面と前記凹凸膜の凸部の上面とで段差のない平坦面を形成してもよい。また、基板上の下部電極膜３２が形成されていない領域に、下部電極膜３２の厚みと同じ厚みを有する段差吸収膜を成膜して、この段差吸収膜の上面と下部電極膜３２の上面とで段差のない平坦面を形成してもよい。 （もっと読む）

【課題】高精度な括れ状ノズルが形成されたノズルプレートを提供する。
【解決手段】単結晶シリコン基板６２を異方性エッチングして、前記単結晶シリコン基板の第１主面から第２主面に向かって次第に狭くなるテーパ状孔部５１ａを形成する工程と、前記単結晶シリコン基板の少なくとも前記第２主面側にレジストを形成する工程と、前記テーパ状孔部が形成された前記単結晶シリコン基板をマスクとして、前記第１主面から前記第２主面の方向に向かって次第に広くなる逆テーパ状に前記レジストを露光する工程と、前記レジストを現像する工程と、前記単結晶シリコン基板の前記第２主面側に機能性膜６４を形成する工程と、前記レジストを除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】導電性の異物の付着に起因する液体の電気分解を防止することが可能な液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】振動子基材の先端側部分に絶縁性材料６０を固着し、その後、振動子基材を個々の圧電振動子１５に分割することで振動子ユニット１６を形成する。この振動子ユニットをヘッドケース１８の収容室５３に収容して自由端部１５ａの先端面をダイヤフラム部４７の島部４９の表面に当接させた状態において、絶縁性材料が、島部４９と圧電振動子１５の自由端部の先端面との間に絶縁部５９として介在することにより、島部４９と圧電振動子１５を電気的に絶縁する。 （もっと読む）

【課題】変位量の向上を図ることができる圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は，基体１と、基体１の上方に形成された下部電極４と、下部電極の上方に形成され、塩化ナトリウム型構造の金属酸化物からなり、（１００）に配向しているバッファ層２２と、バッファ層２２の上方に形成され、ペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層６と、圧電体層の上方に形成された上部電極７と，を含む。 （もっと読む）

液体吐出装置は、室を画定する構造を含む。室は第１表面と第２表面とを含む。第１表面はノズル孔を含む。ノズル孔と反対である室の第２表面には、液滴形成機構が設けられる。第１液体供給通路および第２液体供給通路は、室との流体連通状態にある。多区分液体流入口の第１区分は第１液体供給通路との流体連通状態にあり、多区分液体流入口の第２区分は第２液体供給通路との流体連通状態にある。
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【課題】ノズルの高密度化を可能にし、かつクロストーク防止に十分なリザーバ体積の確保を可能としながらも、製造コストの低減が可能な液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル孔と、ノズル孔の各々に連通し、内部に圧力を発生させて各ノズル孔より液滴を吐出するキャビティ１２となる複数のキャビティ用凹部１２ａと、キャビティ用凹部１２ａと同一面側に形成され、キャビティ用凹部１２ａに供給する液滴を溜めるリザーバ１３となるリザーバ用凹部１３ａと、各キャビティ１２と前記リザーバ１３とを連通する複数のオリフィスとが形成された流路基板１と、流路基板１に接合され、流路基板１のキャビティ１２内に圧力を発生させる振動板２１を有する振動板基板２と、振動板２１を変形させてキャビティ１２内に圧力変化を与えるアクチュエータとを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に配線接続を行うことができて実装信頼性が高く、低コストで生産性が高い液滴吐出ヘッド等を提供する。
【解決手段】 外部の力により少なくとも一部分が形状変化して、連通するノズル孔３０から液滴が吐出される１または複数の吐出室５が形成された第１の基板１と、第１の基板１と陽極接合し、電力が供給されると、選択された又はすべての吐出室５に力を加えて形状変化させる１又は複数の個別電極部Ｂを有する第２の基板２とを少なくとも備え、第２の基板２に第１の基板１と通電可能に当接する接点５０を備えた共通電極部Ａが設けられ、共通電極部Ａの端子部を個別電極部Ｂの端子部と同一平面上に設け、共通電極部Ａ及び個別電極部Ｂの端子部に電圧を印加して吐出室５の形状を変化させるようにした。 （もっと読む）

【課題】初期変位量の向上と耐久性の向上の両立を図ることができる圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は，基体１と、基体の上方に形成された下部電極４と、下部電極の上方に形成され、一般式ＡＢＯ_３で示され、Ａは、鉛（Ｐｂ）を含み、Ｂは、ジルコニウム（Ｚｒ）およびチタン（Ｔｉ）を含むペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層６と、圧電体層の上方に形成された上部電極７と、を含み、圧電体層は，ＺｒおよびＴｉに対するＺｒの組成の異なる領域６１，６２を少なくとも２つ有する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータユニットの駆動端子とフレキシブルケーブルの配線端子とを導電性部材で接合する場合であっても、圧電振動子とフレキシブルケーブルとの間の隙間に防水部材が充填されている液体噴射ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】アクチュエータユニット４にフレキシブルケーブル１８とを接合するに際し、駆動端子３９と配線端子とをこれらの間に異方性導電フィルム４８が介在することにより接合させ、アクチュエータユニット４とフレキシブルケーブル１８との間において前記圧電振動子３０を取り囲むように両面テープ４７を設けて圧電振動子３０を内包する空間４９を形成し、フレキシブルケーブル１８には空間４９に連通する少なくとも２つ以上の貫通孔を設け、空間４９にフッ素ゲル６１を充填する。 （もっと読む）

【課題】複数のノズルに分配する液体を貯留するための共通液室を備える液滴吐出装置において、この共通液室を構成するためのプレートの剛性低下を抑制して、プレートの取り扱いにおける作業性を向上させる。
【解決手段】キャビティ部２０は複数のプレートを積層して構成され、共通液室４３及び供給路４７を形成する開口部５０を有するマニホールドプレート３３（３４）を積層方向に少なくとも２枚隣接して備え、開口部５０は上下に重なるように配置されている。積層方向に重なった開口部５０のうち、少なくとも１つの開口部５０は、仕切り部５３によって、共通液室４３となる第１の開口５１と、供給路４７となる第２の開口５２とに分割されている。 （もっと読む）

【課題】流路ユニットに圧電アクチュエータユニットを接着剤を介して接合する際に、圧電アクチュエータユニットにクラックが生じないようにする。
【解決手段】キャビティプレート１２２には環状溝１５３が形成されている。環状溝１５３の両斜辺からは、多数の矩形溝１５５が延びている。アクチュエータユニット２１の外縁は、その全周にわたって、環状溝１５３と対向している。環状溝１５３の底面からは、多数の支持柱１５７が突出している。支持柱１５７は、アクチュエータユニット２１の外縁と対向しつつ、環状溝１５３の延在方向に沿って並んでいる。支持柱１５７は、環状溝１５３の側壁面から離隔した島状となっている。接合時に、アクチュエータユニット２１に加えられた押圧力が、アクチュエータユニット２１を介して支持柱１５７に加えられる。 （もっと読む）

【課題】全体が薄肉部のダンパ面を設けることでピンホール欠陥などの発生や取り扱いが不便になるなどの製造工程上の不具合が発生する。
【解決手段】共通液室８の１つの壁面は他の壁面よりも剛性が低く、共通液室８内の圧力を緩和するダンパ面２０となっており、ダンパ面２０に、同一材料である振動板部材２の第１層２ａ〜第３層ｃで形成された厚さが相対的に厚い厚肉部２１と振動板部材２の第１層２ａで形成された厚さが相対的に薄い薄肉部２１を含み、これらの厚肉部２１と薄肉部２２はダンパ面長手方向に延びるライン状に形成され、ライン状薄肉部２２とライン状厚肉部２１は、ダンパ面短手方向に交互に形成されている。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル配線材を大面積化させることなくアクチュエータの小型化や高密度化を図る。
【解決手段】アクチュエータ１８の共通電極をその側端部１８ａに露出させ、複数の個別電極の端子部をその上面に配置したアクチュエータ１８の表面に、フレキシブル配線材１９が接続され、フレキシブル配線材１９の下面に形成された複数の個別導体１９ａが、個別電極の端子部と接続されていて、フレキシブル配線材１９の上面には共通電極に接続される接地導通部１９ｂが銅箔を露出して形成されるとともに、接地導体２０ａを有するアース配線材２０が、その接地導通部１９ｂとアクチュエータ１８の側端部１８ａに露出した共通電極の端縁部ａとを接続している。 （もっと読む）

【課題】圧力室の縁部に対応する位置の圧電体、圧電体の縁部を跨ぐリード電極、および圧電体の電極と接続されるＦＰＣ基板実装部等にクラック等が発生せず、駆動耐久性が高く、信頼性の高い圧電体素子を得ること。
【解決手段】ノズルに連通する開口部が設けられた圧力室部材と、開口部を覆うように圧力室部材上に設けられた振動板と、この振動板上に設けられた下電極と、この下電極上に設けられた圧電体５と、この圧電体５上にあって、開口部１と対向する領域の内側に設けられた上電極６と、圧電体５上にあって、上電極６から延伸され上電極６よりも幅が狭いリード電極７とを備え、圧電体５は、開口部の縁部２ａに沿って所定の領域に設けられた溝部１２と、この溝部１２以外の領域であって、開口部の縁部２ａに沿って設けられた圧電体素子として実質的に機能しない非能動領域（圧電体非能動部１１）を備え、リード電極７を圧電体非能動部１１に配置する。 （もっと読む）