【課題】被測定圧力を受ける受圧用ダイアフラムを備える圧力センサにおいて、冷却機構を設けることなく、受圧用ダイアフラムに対する熱歪みの影響を低減する。
【解決手段】ケースと、ケースの一端部に設けられ、一面が被測定圧力Ｐを受ける受圧面２１として構成されるとともに受圧面２１に被測定圧力Ｐを受けて歪む受圧用ダイアフラム２０と、ケースの内部に設けられ受圧用ダイアフラム２０から被測定圧力Ｐが伝達される圧力伝達部材６０とを備える圧力センサにおいて、受圧用ダイアフラム２０は、受圧面２１を構成する第１の層２０ａと、圧力伝達部材６０寄りの部位に位置する第２の層２０ｂとを有するとともに、第１の層２０ａと第２の層２０ｂとは、互いに熱膨張係数の異なる材料よりなるものである。 （もっと読む）

【課題】 簡単な工程で封止性を維持しつつ効率よく製造が可能であり、かつ温度の変動による検出精度の変化を抑えることが可能な高性能な静電容量型圧力センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 圧力センサ１０は、ガラス基板１１と、このガラス基板１１の第１面１１ａに形成される第１シリコン層１２と、ガラス基板１１の第２面１１ｂに形成される第２シリコン層１３とから概略構成されている。ガラス基板１１の一部には、第１面１１ａから第２面１１ｂに向けて貫通するコンタクトホール１４が形成されている。ガラス基板１１の第１面１１ａには、ガラス基板１１のほぼ中心付近に広がる固定電極１５が形成される。 （もっと読む）