バイオチップが、温度に基づき変形する微小機械アクチュエータ２０と、上記アクチュエータの変形に基づき信号を出力するよう構成される検出器３０とを有する一体型温度センサを持つ。アクチュエータは、エラストマーネットワークにおけるＬＣ物質から形成されることができる。検出器３０は、光学的、磁気的又は容量的とすることができる。そのアクチュエータは、層として構成されることができ、その変形は、その層の巻き上がりとすることができる。
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