【課題】温度が変化する雰囲気中で被処理体を処理する際の物理量を適切に計測する。
【解決手段】物理量計測装置９０はガラス基板Ｇの表面に設けられている。物理量計測装置９０は、計測回路９１と、ガラス基板Ｇの温度変化に応じて抵抗値が変化する温度センサ９２と、計測回路９１と温度センサ９２とを接続する第１の配線９３と、予め定められた抵抗値を有し、且つガラス基板Ｇの温度変化に対する抵抗値の変化量が温度センサ９２の抵抗値の変化量に比べて小さいダミーセンサ９４と、計測回路９１とダミーセンサ９４とを接続する第２の配線９５とを有している。ガラス基板Ｇの温度変化に対する、第１の配線９３の抵抗値の変化量と第２の配線９５の抵抗値の変化量との比率は一定である。 （もっと読む）

【課題】温度応答性が良い測温抵抗体を得る。
【解決手段】金属製の保護管１中には、良好な電気絶縁性、熱伝導率を有する素線保持体２が保護管１の内面にほぼ密着して挿入されている。
素線保持体２の周囲には、円周方向に螺旋溝３が平行に２列に形成され、この螺旋溝３に測温用の白金素線４がそれぞれ埋め込まれている。白金素線４にはリード線５ａ、５ｂ、５ｃが接続され、リード線５ａ、５ｂは白金素線４の近端にそれぞれ溶接等で接続され、白金素線４の遠端同士はリード端６により短絡され、リード端６にはリード線５ｃが接続され、リード線５ｃは素線保持体２の中心孔２ａを通って引き出されている。リード線５ｃを引き出した後の中心孔２ａ内には電気絶縁性を有する充填材７が詰められ、更に３本のリード線５ａ〜５ｃは保護管１の入口部に設けた成型体８を通過した後に、ガラス封止材９により封止されている。 （もっと読む）

【課題】
接着剤や溶着剤を用いることなく基板に配線を固定し、低反り測定用基板を作製する。
【解決手段】
測定用基板及び温度測定用基板は、基板に拡散防止層と第１の密着層と配線と第２の密着層と保護層とが積層されてなる。基板は半導体ウェーハと同じ材料で製造される。拡散防止層は配線の成分が基板内に拡散することを防止する機能を有する。第１の密着層は拡散防止層を介して基板に配線を密着させる機能を有する。配線は導電性を有する線材や箔材からなる。第２の密着層は配線と保護層とを密着させる機能を有する。保護層は配線を覆うことによって配線の酸化防止効果、外部との絶縁効果、傷防止効果を有する。 （もっと読む）

【課題】 金属抵抗体の抵抗値の変動を抑制すると共に、感温素子の破損を抑制できる温度センサを提供する。
【解決手段】 第２温度センサ１０１は、感温素子２が金属チューブ１１４の内部に備えられることから、感温素子２が被測定物（排気ガス）に直接接することが無く、被測定物の影響による金属抵抗体４１５の劣化を抑制できる。また、感温素子２のセラミックス基体４１４、セラミックス被覆層４１７および接合層４１６がアルミナ純度９９．９％以上で構成されており、耐マイグレーション性に優れる。さらに、第２温度センサ１０１は、感温素子２が金属チューブ１１４の内部に備えられることから、感温素子２に水滴などが直接付着することがないため、水滴の付着による温度分布の偏りに起因する感温素子２でのクラック発生などの破損を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 炉内の温度制御性能の精度を向上させ、加熱される対象物の品質向上、また品質安定に寄与することができるようにする。
【解決手段】 この発明の加熱炉１は、炉内温度と目標温度との差が所定温度以上の場合、熱電対温度計２５で検出した炉内温度に基づいて温度制御を行い、炉内温度と目標温度との差が所定温度以内の場合、白金シース型抵抗温度計２４で検出した炉内温度に基づいて温度制御を行うようにした。 （もっと読む）