【課題】プローブの接触要素に作用する力に対して非常に敏感であって、プローブに対する損傷を妨げるために、適度に頑丈であるプローブを提供する。
【解決手段】位置決定装置用のプローブは、プローブ本体１８および加工対象物に接触するスタイラス１４を有する。ひずみ感受性構造体は、プローブ本体１８およびスタイラス１４を接続し、そして、曲げられる部材３０を含む。曲げられる部材３０は、例えば長方形の横断面を有する。曲げられる部材３０の曲げに基づく信号を提供するように、一対のひずみ検出要素３３が曲げられる部材の反対側に位置する側部に取り付けられる。これは、ひずみ感受性構造体に、頑丈さと、曲げに対して感度が良いことの両方を可能にする。 （もっと読む）