Fターム[2F062HH28]の内容
機械的手段の使用による測定装置 (14,257) | プローブ、測定子 (1,750) | フィーラ接触方向の変更 (35) | フィーラ端子が常に回転中心にあるもの (1)
Fターム[2F062HH28]に分類される特許
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表面性状測定装置
【課題】傾斜を有する被測定物表面を高精度に倣い測定する表面性状測定装置を提供する。
【解決手段】 測定部210により被測定物表面を倣い走査する。測定部210は、接触部212を先端に有するスタイラス211と、接触部212が被測定物表面に当接した際のスタイラス軸方向の測定力を検出する測定力検出手段を有する。移動機構は、測定力を一定にしながら測定部210を被測定物表面に対して相対移動させる。
移動機構は、接触部210を回転中心として測定部210を回転させてスタイラス211を被測定物表面に垂直にする回転機構400を備える。
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