【課題】長くて径小なスタイラスを有し、被測定物とスタイラスとの接触によって生じた衝撃による破損の可能性が低く、検出精度のよいタッチプローブを提供する。
【解決手段】円筒形のプローブ本体１０と、プローブ本体１０に設けられたスタイラス支持手段１１と、スタイラス支持手段１１に略重心位置１２２を支持された棒状のスタイラス１２と、スタイラス１２の変位を検出する検出手段１３と、を備え、スタイラス支持手段１１は、弾性部材から形成されるダイヤフラム１１１を備え、ダイヤフラム１１１は、スタイラス１２を支持する中心部１１３と、プローブ本体１０に固定された外周部１１４と、中心部１１３と外周部１１４との間に放射状に設けられ中心部１１３と外周部１１４とを連結する複数のリム１１５と、を備えるタッチプローブ１。 （もっと読む）

【課題】３つの空間方向におけるそれぞれの曲げ剛性をできるだけ良好に相互に整合させることのできる、微細構造体を測定するためのセンサーモジュールを提供する。
【解決手段】触知式座標測定装置のプローブ２８用のセンサーモジュール４０は、第一測定面を規定する固定モジュールベース４６を有する。前記センサーモジュールはさらに、モジュールベース４６に対して移動可能であって、触針２６を保持するための支持部材４８ａを有している。さらに、支持部材４８ａとモジュールベース４６とを移動可能に相互接続する少なくとも１つの変形可能な接続部材５０を設けている。本発明の１つの局面において、前記接続部材５０は少なくとも、変形可能な第一および第二材料層５０ａ，５０ｂを有し、これらは、第一測定面に対して垂直に、相互に位置がずれた状態に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 光量変化、超音波信号伝達時間を用いて、ローラギャップ測定のバラツキを低減し、維持管理の容易なギャップ測定方法および装置を提供する。
【解決手段】 ローラ間のギャップを測定するギャップ測定方法において、対向する２枚の平板１３ａ、１３ｂを伸縮変形する側壁で囲んだ容器形状の測定子１３と、この伸縮する測定子１３へ充填する充填部材１２ａおよびその充填部材１２ａを充填する充填機構１２と、測定対象であるローラ９、１０間に前記測定子１３を挿入し充填部材１２ａを充填したときの測定子１３における平板間隔の検出部１４を有し、検出量をローラ間距離に換算する演算部１５を有する。 （もっと読む）