【課題】厚さの薄い平板状の被検体、特にウェーハを対象として高精度に平坦度、厚さなどの形状を測定し得る光学式形状測定装置を提供する。
【解決手段】エッジ部を介して略鉛直に保持されたウェーハ１の主面１ａ側及び裏面１ｂ側に対向配置された２つの基準平面基板１５，２５を備える光学測定手段１０，２０と、前記基準平面基板１５，２５とウェーハ１との間に、ウェーハ１と平行間隙を形成し且つウェーハに近接して配置された透明な剛体平板１９，２９を備えてなる。 （もっと読む）