【課題】 測長対象物の姿勢に関わらず、正確且つ容易に測長を行うこと。
【解決手段】 測定対象物３が表面５ａに形成される基板本体５と、該基板本体５の表面上５ａで、測定対象物３が形成される領域近傍に少なくとも一方向に延びるよう設けられた基準スケール６とを備え、該基準スケール６が、集束イオンビームＦＩＢを利用して形成され、予め決められた間隔毎に隣接配置された複数の目盛り７を有している基板２を提供する。 （もっと読む）