【課題】経済的負担を伴うことなく、倍率切替時に生じる光軸のずれによる影響を極力低減し、高精度な測定を実現できる光学ユニットおよび測定装置を提供する。
【解決手段】対物レンズ１と、この対物レンズ１の光軸上に配置され対物レンズ１から出射された光束を結像する結像レンズ２と、対物レンズ１と結像レンズ２との間に配置されアフォーカル倍率α１，α２が異なる複数のアフォーカル光学系１１，１２と、この複数のアフォーカル光学系１１，１２のいずれかを対物レンズ１の光軸上に切替える切替手段２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定点のアライメント作業を容易に行える安価な測定顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】測定顕微鏡装置は、被検体２１を水平移動させるＸＹステージ２２と、被検体２１を観察する観察光学系１０と、観察光学系１０の対物レンズ１１を上下移動させるＺステージ１５と、対物レンズ１１を介して被検体２１に測定光を照射して合焦を検出する焦点検出系３０と、焦点検出系３０と対物レンズ１１を光学的に結合するハーフミラー１７と、焦点検出系３０による検出結果に基づいてＺステージ１５を制御する信号処理部４１と、Ｚステージ１５による対物レンズ１１の移動量を測定する測定部４２とを有している。さらに測定顕微鏡装置は、焦点検出系３０とハーフミラー１７の間の光路上に配置された２つのウェッジプリズム５１ａと５１ｂと、ウェッジプリズム５１ａと５１ｂをそれぞれ回転可能に保持している回転機構５２ａと５２ｂとを有している。 （もっと読む）