一般的に、一態様において、本発明を特徴付ける装置は、少なくとも３本の出力ビームを生成するように構成された多軸干渉計を含む。各出力ビームは、対応する測定軸に沿っての干渉計と測定物体との間の距離についての干渉分光情報を含み、少なくとも３本の測定軸は共通面内にあり、各出力ビームは、共通のビーム経路に沿って測定物体までの光路を形成する成分を含む。
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【課題】 ユーザフレンドリな入力インタフェースを提供する。
【解決手段】 長寸の物体の姿勢と、不変特徴部がある平面に物体の先端が接触する間に先端の絶対位置とを決定する装置及び方法を提供する。この方法は、プローブ放射線により平面及び不変特徴部を照明する過程と、平面及び不変特徴部から長寸の物体の軸線に対して角度τで長寸の物体に戻るプローブ放射線の散乱部分を検出する過程を提供する。姿勢は、散乱部分の反応から表面及び不変特徴部または特徴部へ導き出される。表面上の先端の絶対位置は、姿勢と、不変特徴部に関する情報から求められる。 （もっと読む）

３次元モデル記憶手段（１７０）は、対象物体の３次元形状データおよび照明基底データを予め記憶する。比較画像生成手段（１１０）は、３次元形状データおよび照明基底データにもとづいて、入力画像と同じ照明条件の下で、現時点での推定値の位置／姿勢に対象物体がある再現画像を比較画像として生成する。画像変位分布検出手段（１２０）は、比較画像を部分画像（小領域）に分割し、小領域ごとに比較画像と入力画像との画像変位分布を検出する。姿勢差分検出手段（１３０）は、画像変位分布および３次元形状データにもとづいて位置姿勢差分値を算出する。そして、終了判定手段（１４０）は、位置姿勢差分値が所定の閾値より小さいと判断した場合に、現在の位置姿勢推定値を最適位置姿勢推定値（１３）として出力する。これにより、画像に含まれる物体の位置や姿勢を高速に推定できるようになる。 （もっと読む）

一般的に、第１の態様において、本発明の特徴は、ステージ上のアライメント・マークの箇所を決定するための方法であって、干渉計とミラーとの間の経路に沿って測定ビームを送ることであって、少なくとも干渉計またはミラーがステージ上に載置される、測定ビームを送ること、測定ビームを他のビームと組み合わせて、ステージの箇所についての情報を含む出力ビームを生成すること、出力ビームから、第１の測定軸に沿って、ステージの箇所ｘ_１を測定すること、第１の測定軸に実質的に平行な第２の測定軸に沿って、ステージの箇所ｘ_２を測定すること、ミラーの表面変化を異なる空間周波数に対して特徴付ける所定の情報から補正項Ψ_３を計算することであって、補正項に対する異なる空間周波数からの寄与を、異なる仕方で重み付けする、補正項Ψ_３を計算すること、第１の測定軸に平行な第３の軸に沿って、アライメント・マークの箇所を、ｘ_１、ｘ_２、および補正項に基づいて決定すること、を含む方法である。
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