【課題】光学顕微鏡による観察面の直接観察では発見しにくい、平坦で特徴の少ない面内の極小領域に規則性を持って点在する試料であった場合に、アライメントを容易にする。
【解決手段】走査電子顕微鏡の試料室外もしくは試料室内に、走査電子顕微鏡の観察面に対して斜め方向に光を照射して反射光を検出する光学顕微鏡ユニット２４を設ける。アライメントの際には、複数ある観察対象部位から任意に選択した観察対象部位で、電子顕微鏡の観察面とは異なる端面を斜めから観察した光顕画像を撮影する。撮影した画像をテンプレートマッチングの手法を用いて解析し、実画像上における観察位置の座標情報を推定する。 （もっと読む）

機械部品を検査する装置は、基底部（１）と、固定および基準システム（３１）と、オプトエレクトロニクスシステム測定システム（５３）と、変位システム（３、９、２６）と、オプトエレクトロニクス測定システムの信号を受け取って処理する処理ユニット（２５）とを備える。変位システムはまた、オプトエレクトロニクス測定システムと被検査部品との間を、横軸に沿って相互に平行移動変位できる。予測結果を検査して、少なくとも２つの異なる横方向位置（Ａ、Ｂ）において、相互に振動している間の部品の表面（５１）に関するオプトエレクトロニクス測定システムにより提供された信号を検出し、処理を実行することにより、仮想表面（５１’）に関する情報を得る。この方法および装置により、ハードディスク記憶ユニットの極めて小サイズの構成部品の位置および／または配置および／または形状に関する情報を得ることができる。
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