【課題】円筒内径を高速測定可能な測定方法、装置及び円筒内径測定から円筒三次元表示までの時間を短縮し円筒三次元表示の高速化が可能な表示方法、装置を提供する。
【解決手段】エアーマイクロセンサの測定ヘッドを被測定円筒内で軸方向に移動させて円筒内径を測定する方法において、測定ヘッドを被測定円筒開口端の一方側から他方側に螺旋移動させながら、被測定円筒の内径測定と測定ヘッドの位置（被測定円筒の軸方向位置及び軸周り方向位置）の検出を行う。被測定円筒軸方向の１点で測定ヘッド停止状態での被測定円筒の内径を基準内径値として測定し、この基準内径値と、螺旋移動状態での内径測定値群中の基準内径値測定位置近傍での内径測定値との差を用いて螺旋移動状態における各内径測定値を補正する。補正済み円筒内径測定値を測定ヘッドの各位置における円筒内径測定値とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、近接センサヘッドのドリフトが該近接センサの精度に及ぼす影響を低減するための自己補償メカニズムを含む格納式の近接センサを提供することである。
【解決手段】前記課題は、基準面スタンドオフと測定面スタンドオフとの間の差を検出する格納式の近接センサを、近接センサハウジングが支持する構成によって解決される。 （もっと読む）