物体（１）のベース領域（５）からテーパ領域（１．１）の所定の直径（Ａ）を有する断面までの距離を測定するための方法であって、テーパ領域が仰角または俯角を形成するとともに円形断面形状を有する方法において、直径（Ａ）を有する測定体（３）がベース領域（５）上に配置される。この配置は、物体（１）の直径（Ａ）を有する断面領域と測定体（３）との間に隙間（６，Ｘ）の形態を成す距離が形成されるように行なわれる。隙間（６，Ｘ）を通じて流体媒質が押し進められ、流体媒質の圧力及び／又は流量が測定される。距離値は、測定された圧力及び／又は流量に基づいて評価ユニット（９）で決定される。
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【課題】計測ヘッド（計測ヘッド先端部）の軸芯とマスタ穴の軸芯を確実に一致させることができる構成のエアマイクロメータ用較正装置を提供する。
【解決手段】エアマイクロメータ用較正装置９１を、小径のマスタ穴９５と、大径のマスタ穴９６と、計測ヘッド先端部４３が小径のマスタ穴９５に挿入されたときには計測ヘッド先端部４３の軸芯と小径のマスタ穴の軸芯とを一致させ、計測ヘッド先端部４３が大径のマスタ穴９６に挿入されたときには計測ヘッド先端部４３の軸芯と大径のマスタ穴９６の軸芯とを一致させる位置決め手段とを有してなる構成とし、且つ、前記位置決め手段は、圧油供給路９８と、クランピングスリーブ９３と、このクランピングスリーブ９３の周囲を囲む油圧室９７とを有してなり、クランピングスリーブ９３が、圧油供給路９８から油圧室９７へ供給される圧油の圧力によって計測ヘッド本体部４２（ケース４６）をクランプする構成とする。 （もっと読む）

【課題】 実測作業を簡略化することで、製造期間の短縮化を図るとともに、メンテナンス作業や取り付け作業を簡略化することができる位置確認装置を提供する。
【解決手段】 検出圧通路１３に設ける検出オリフィス１６と、この検出オリフィス前後の差圧を検出するとともに、この差圧に基づいて変化する出力値ΔＰを出力する差圧検出手段１７と、この差圧検出手段が出力する出力値ΔＰを基にして、テーブル１０と被検出体Ｗとの間の隙間量ｈを演算する演算処理部１８とを備え、この演算処理部は、隙間量０のとき差圧０となる０点を基点にした実測値に基づく実測値特性線に対して近似するとともに、上記０点以外の２点の実測値を特定することによって、実測値特性線に近似する近似特性線を得られる近似式を特定し、かつ、この近似式に基づいて上記差圧検出手段が出力する出力値ΔＰから隙間量ｈを特定する。 （もっと読む）