Fターム[2F067GG05]の内容
波動性又は粒子性放射線を用いた測長装置 (9,092) | 標準、基準 (146) | 標準となるもの (146) | 電気的基準 (1)
Fターム[2F067GG05]に分類される特許
1 - 1 / 1
基板検査方法、基板検査装置及び電子線装置
【課題】高スループットでしかも高い信頼性で試料資料の検査、評価が可能な検査方法、検査装置の提供。
【解決手段】電子線装置は、荷電粒子線を発生する荷電粒子線発生手段71と、前記一次荷電粒子線を複数本走査させて前記基板に照射する一次光学系72と、前記荷電粒子線の照射により前記基板から放出された二次荷電粒子線が投入される二次光学系74と、前記二次光学系に投入された二次荷電粒子線を検出して電気信号に変換する検出器を有する検出系76と、前記電気信号に基づいて基板の評価を行う処理制御系77と、を備え、前記パターン形成面を複数の領域に分割して、領域毎にパターンを形成することにより全体のパターン形成が行われるパターン形成面の評価において、上記分割した領域のつなぎの領域を選択して上記評価を行う。
(もっと読む)
1 - 1 / 1
[ Back to top ]