【課題】砥石表面の切れ刃分布の定量的な評価を可能とする砥粒切れ刃分布測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】回転軸心周りに回転して外周の作業面１１ａで工作物を研削するための砥石１１の切れ刃分布を測定する砥粒切れ刃分布測定装置１であって、長手方向中間部に作業面１１ａを回転状態で接触させるセンサ本体３と、作業面１１ａの切れ刃が接触するセンサ本体３の接触点から入力された接触信号がセンサ本体３の両端部３ａ，３ｂに伝播された伝播信号を検出する第１、第２センサ５，７と、センサ本体３の接触点から両端部３ａ，３ｂに到達する両伝播信号の時間差とセンサ本体３の既知の信号伝播速度Ｖとにより接触点からセンサ本体３の両端部３ａ，３ｂまでの距離を演算して作業面１１ａの切れ刃分布を求める演算部９とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウエーハに傷を付けることなく研削中のウエーハの厚みを計測可能な研削装置を提供する。
【解決手段】ウエーハ１１を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハ１１を研削する研削ホイールを有する研削手段とを備えた研削装置であって、ウエーハ１１の実厚を計測する実厚計測手段と、ウエーハ１１の一方の面に向けて超音波を放出し、一方の面で反射した超音波とウエーハ１１を透過し他方の面で反射した超音波との時間差によってウエーハ１１の厚みを非接触で計測する非接触厚み計測手段５７とを具備し、実厚計測手段によって研削前のウエーハ１１の厚さを計測して初期厚さを得、初期厚さに基づいて非接触厚み計測手段５７の演算部で用いる計測基準値を設定する。 （もっと読む）

【課題】板状物に傷を付けずにその厚みを正確に計測する。
【解決手段】保持テーブルに保持された板状物２の上面２ａに向けて流体を流出させて流体膜３を形成すると共に、筒体１２の内部に流体柱４を形成し、送波部１７から超音波を送信してからその反射波が到達までの時刻から板状物２の厚みを求める。筒体１２は板状物２の接触しないため、板状物に傷を付けることがない。 （もっと読む）