【課題】工作機械組立時等に、ロータリエンコーダの調整作業を容易に行う。しかも、テーブルの回転角度を正確に検出する。
【解決手段】工作機械において、ワーク載置用テーブル21は、ベッド11に垂直軸線を中心に回転自在に支持されている。テーブル回転角度検出装置は、テーブル21と同軸上で回転しうるようにベッド11に支持されているベース53と、テーブル21の回転角度を検出するためのロータリエンコーダ71とを備えている。ロータリエンコーダ71は、外周縁部にそって被検出パターンが付けられているロータ57と、被検出パターンを検出するためのセンサ62とよりなる。ロータ57は、その半径方向位置を調節しうるようにベース53に固定可能である。センサ62は、ベース53に固定されたロータ57の被検出パターンを検出しうるようにベッド11に固定可能である。伝達手段82によって、テーブル21の回転をベース53に固定されたロータ57に伝達しうるようになされている。 （もっと読む）

【課題】パスカルの原理を用い、かつ、温度変化の影響を受けにくい変位増幅装置を提供する。
【解決手段】本体１は、媒質２を内部に収容するための収容空間１１を備える。媒質２は、正の熱膨張率を持つ流動体２１と、負の熱膨張率を持つ可動体２２とを備える。可動体２２は、流動体２１の移動に従って変位する。さらに、媒質２は、小面積である第１可動面２３と、大面積である第２可動面２４とを備える。第１可動面２３及び第２可動面２４の内の一方の変位は、媒質２を介して、他方に伝達される。この変位増幅装置では、媒質２の温度変化によって流動体２１の体積が変化しても、可動体２２の体積変化により、媒質２の全体としての体積変動量を低く抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】
できるだけ長期間にわたって測定精度および信頼性が保証されている、高い測定精度を有するカプセル封入されたコンパクトな距離測定装置を提供する。
【解決手段】
測定方向Ｘに沿って延びる管（２４）であって、該管が、前記縦ガイド（１２）によって測定方向Ｘに平行に案内されるように前記第２の測定素子（２０）に接続されており、前記ハウジング（１１）の開口部（２５）を通して封止するように引き出されており、前記連結ロッド（２２、２２．１、２２．２、２２．３）が前記管（２４）の内部に延び、前記管（２４）が、前記管（２４）の内部における、前記測定方向Ｘに直交して進行する前記連結ロッド（２２、２２．１、２２．２、２２．３）の補正移動を可能にする管（２４）を備えていることにより解決される。 （もっと読む）

【課題】特殊な半導体プロセスを必要とすることのないより簡素な構成にて、検出対象の運動を検出することのできる半導体センサを提供する。
【解決手段】センサ装置１は、作用する外力の大きさに応じた変形量で弾性変形するダイヤフラム１０と、このダイヤフラム１０を弾性変形可能に支持する台座２０とを有しており、ダイヤフラム１０（正確には変形部１０ｂ）裏面側の、膜厚が急激に厚くなる箇所に、変形部１０ｂの変形量を検出するための手段として、圧電素子３０を有している。さらに、ダイヤフラム１０の変形部１０ｂの裏面側略中央に、適宜の形状及び材料にて形成された磁石４０を有している。そして、圧電素子３０からの出力電圧に基づき、マイクロコンピュータ（検出手段）５０を通じて、回転軸（図示略）の回転に伴って回転する歯車の回転を検出するとともに、センサ装置１を取り巻く雰囲気の圧力も検出している。 （もっと読む）