【課題】サイズの異なる複数種類の検査対象基板を、段取り替え無しに載置でき、載置後は自動で精度良く検査可能する手段の提供。
【解決手段】検査対象基板Ｗを保持するものであって、サイズの異なる検査対象基板Ｗをそれぞれ収容する複数の収容凹部３１、３２、３３を有する基板検査用保持板３と、前記基板検査用保持板３に保持された検査対象基板の検査を行う検査機器４と、前記基板検査用保持板３に保持された検査対象基板Ｗの検査対象面と前記検査機器４との距離を調節する距離調節機構６と、前記基板検査用保持板３に保持された検査対象基板Ｗのサイズを検出するサイズ検出機構５を備えている。 （もっと読む）

【課題】 機体に取り付けられた機器が受ける振動を緩衝させる防振装置に関し、能動的に、より広い周波数領域の振動を抑制させる。
【解決手段】 第１の部材２０の内部に第１の部材２０に対して変位可能に第２の部材３１、４１が設けられ第１の部材２０から第２の部材３１、４１にかかる振動を緩衝する防振装置１において、緩衝手段３０、４０が第１の部材２０に対する第２の部材３１、４１の振動を吸収する。複数の１次元変位センサ４４が互いに非平行に第１の部材２０と第２の部材３１、４１との間に取り付けられ第１の部材２０に対する第２の部材３１、４１の変位に応じた１次元変位量を出力する。算出手段が１次元変位センサ４４の出力に基づいて第１の部材２０に対する第２の部材３１、４１の変位を算出する。駆動手段８１が算出手段によって算出された第２の部材の変位に基づいてその変位量を減少させる方向に第１の部材２０あるいは第２の部材３１、４１を駆動する。 （もっと読む）