【課題】可動部材の移動によって発生する反力をベースに伝達する反力伝達部材を備えることで、移送システムに発生する振動を低減し得る、移送システム及びそれを備えたアレイテスト装置を提供しようとする。
【解決手段】本発明は、目的物を所定位置に移送させる移送システムに関するもので、目的物を移動させる可動部材の移動から発生する反力をベースに伝達する反力伝達部材を備えることで、移送システムの振動を低減し得る構成を提供する。 （もっと読む）

【課題】 外部からの水の浸入を防ぐことができ、さらに外部の温度変化に起因するセンサユニット内部の熱歪みによるセンサおよび周辺回路への水の浸入を防止し、製品の信頼性が高く、かつ製作コストの低減を図ることができるセンサユニットを提供する。
【解決手段】 表面張力を小さくする被膜ｆｍを、センサアッシ２の各部に形成しておき、絶縁性を有する液体ＬＱを被膜ｆｍを介して隙間等に含浸させてなる。 （もっと読む）